本发明涉及一种利用低能惰性气体离子散射进行表面分析的装置和方法，包括：产生由多种惰性气体离子组成的混合离子探针束；混合离子探针束照射待测样品的表面，一部分离子在待测样品的表面原子上发生背散射产生背散射离子，另一部分离子穿透待测样品的表面...

本技术公开了一种CVD沉积炉进料装置，包括沉积炉和支撑台,所述支撑台顶部的中间位置安装有沉积炉，且所述支撑台顶部的一侧安装有护罩，所述护罩顶部的一侧设有电机三，且所述电机三的输出端贯穿护罩连接有齿轮轴一，且所述齿轮轴一上安装有齿轮一，所...

本技术涉及一种废气吸收装置，包括检测单元，检测单元的表面设有第一进气管与第一出气管，第一出气管的表面设有第一电动阀门，连通管，连通管的一端与第一出气管相连通，第二电动阀门，第二电动阀门安装于连通管上，用于对连通管的开启或关闭状态进行控制...

本技术涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种离子束测量用信息采集设备，包括转盘、装配台、滑台和滑座，转盘上端设有采集板，采集板正面设有等离子采集，采集板下端与转盘转动连接，采集板的背面设有用于调节转盘和采集板倾斜角度的推杆组件，装配台，...

本技术涉及一种CVD镀膜装置，包括反应炉、镀膜管道、基体盒和镀料盒，反应炉的外部安装有保护壳，反应炉的底部安装有控制器，反应炉的一侧连通有抽真空管，镀膜管道固定连接于反应炉内部的中央，且镀膜管道的左右两端分别贯穿反应炉的左右两端，镀膜管...

本技术公开了一种脱模装置，应用在PVD涂层脱模领域，包括壳体，所述壳体的内部设置有脱模机构，所述壳体上设置有连接管，所述连接管的另一端设置有提取化学脱模废液中的氢氟酸的萃取机构，在使用时，首先向壳体中加入脱模液，然后再向壳体内部加入待脱...

本实用新型提供了一种离子束刻蚀挡板装置，涉及离子束刻蚀设备技术领域，包括底座和通道板，所述通道板的一端连接有轨道板，所述通道板的一端还铰接有旋转轴，所述旋转轴的外侧连接有卡合杆，所述卡合杆的一端连接有挡板，所述卡合杆与滑槽之间设有导向机...

本实用新型公开了一种固态电解质电导率变温测试模具，包括箱体，箱体的外侧固定安装有支架，支架的一侧开设有滑槽，滑槽的内部滑动安装有第一滑块，第一滑块的一侧固定安装有电机，电机的输出端固定安装有螺纹杆，螺纹杆的外侧表面设置有第二滑块，第二滑...

本实用新型公开了一种有绝缘柱保护装置的离子束箱体，包括箱子主体，所述箱子主体的两侧外壁均开设有两个互相远离的长滑槽，每个所述长滑槽的内部均滑动连接有长滑条，其中两个所述长滑条的一端固定连接有同一个第一方形板，所述第一方形板的一侧外壁固定...

本实用新型公开了一种真空封装辅助装置，包括底板，所述底板的上方设置有操作板，所述操作板的顶部固定连接有安装板，所述安装板的外壁固定安装有电机A，所述电机A的输出轴贯穿安装板固定连接有套筒，所述操作板的底部固定安装有电机B，所述电机B的输...

本实用新型公开了一种回旋离子束加工装置，包括壳体，所述壳体的内壁固定连接有第一固定架，所述第一固定架的内壁转动连接有横摇轴，所述第一固定架通过设置的横摇轴转动连接有外框，所述外框的内壁转动连接有纵摇轴，所述外框通过设置的纵摇轴转动连接有...

本实用新型公开了一种辊道炉的烧结装置，包括烧结箱，烧结箱的底部固定连接有支撑架，支撑架的内部固定连接有收尘箱，烧结箱的内部固定连接有辊轴箱，辊轴箱的一侧活动连接有传送辊，辊轴箱的一侧固定连接有传送电机，烧结箱的顶部固定连接有燃气筒。通过...