一种离子束测量用信息采集设备制造技术

本技术涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种离子束测量用信息采集设备，包括转盘、装配台、滑台和滑座，转盘上端设有采集板，采集板正面设有等离子采集，采集板下端与转盘转动连接，采集板的背面设有用于调节转盘和采集板倾斜角度的推杆组件，装配台，装配台置于转盘下端并与转盘转动连接，装配台与转盘的连接处设有旋转调节机构。X轴调节件和Y轴调节件能控制采集板在X轴和Y轴上的位置，通过旋转调节机构可调节采集板的面朝方向，通过推杆组件可调节采集板的倾斜角度，使采集板能对从斜侧方向发射来的等离子体进行有效采集，采集面更广。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种离子束测量用信息采集设备。

技术介绍

1、等离子体产生后，在有效离子束通道上，离子束的束流密度都是不均匀的，但是在利用等离子体进行刻蚀加工时，最理想的状态就是离子束的束流密度均匀，这样就可以获得均匀性良好的刻蚀效果。传统的获得良好束流密度均匀性的方法有两种，一种是调整离子源的参数与设计结构，使得从离子源引出的离子束均匀，但由于离子束被束缚的磁场本身不均匀，加上离子带电的互斥作用，很难保证从离子源总引出的离子束的绝对均匀，只能是获得相对均匀的离子束，当这种离子源自身离子束均匀性达不到刻蚀要求时，就必须在离子源与刻蚀样品之间建立异型的物理遮挡机构，不断通过调整物理遮挡机构的几何形状，与离子束密度特征进行抵消，因此在每次设计出物理遮挡装置时，往往需要用到离子束采集装置对等离子体的均匀度和密度进行测量。

2、如申请号为cn202020697471.的中国专利，公开了一种离子束采集器，具体包括底板，底板的底部固定安装有四个安装柱，底板的内部开设有两个滑槽，两个滑槽的内部均活动安装有两个工字滑座，底板的内部开设有两组定位孔，两个工字滑座的顶部固定安装有支座，支座的顶部固定安装有支板，支板底部的两侧均固定安装有电动伸缩杆，底板的顶部固定安装有两个限位板。该离子束采集器的安装板上装有采集设备，安装板位置可调，能够进行多面积均匀收集。但在一些情况下，从发射器射出的离子束与底板之间并不一定是水平的，而由于安装板竖直装配在支板的上端，因此，在对从倾斜角度发射的离子束进行采集时，其采集范围就会存在局限性。</p>

技术实现思路

1、针对上述问题，本技术提出一种离子束测量用信息采集设备，用以解决现有的采集设备在对从倾斜角度发射的离子束进行采集时，其采集范围就会存在局限性的缺点。

2、为实现本技术的目的，本技术通过以下技术方案实现：一种离子束测量用信息采集设备，包括转盘，转盘上端设有采集板，采集板正面设有等离子采集，采集板下端与转盘转动连接，采集板的背面设有用于调节转盘和采集板倾斜角度的推杆组件；

3、装配台，装配台置于转盘下端并与转盘转动连接，装配台与转盘的连接处设有旋转调节机构；

4、滑台，滑台置于装配台下端并与装配台滑动连接，滑台和装配台的连接处设有y轴滑移件；

5、滑座，滑座置于滑台下端并与滑台滑动连接，滑座与滑台的连接处设有x轴滑移件。

6、进一步改进在于：所述推杆组件包括设在转盘上端的电动推杆，电动推杆安装端与设在转盘上端的铰接座a转动连接，电动推杆输出端与设在采集板上端的铰接座b转动连接，铰接座b置于采集板的背面。

7、进一步改进在于：所述旋转调节机构包括开设在装配台下端的装配槽，装配槽内设有电机c、蜗轮和蜗杆，蜗杆置于蜗轮一侧并与蜗轮啮合，电机c安装端与装配槽槽壁固定连接，电机c输出端与蜗杆的一端固定连接，蜗轮上端设有转轴，转轴与蜗轮固定连接，转轴上端端穿过装配台并与转盘固定连接，转轴与装配台转动连接。

8、进一步改进在于：所述y轴滑移件包括设在滑台上端的螺杆座，螺杆座内设有第一螺杆，第一螺杆外侧套设有螺母座，螺母座与第一螺杆螺纹配合，螺母座上端与装配台下端固定连接，螺杆座外侧设有电机a，电机a输出端与第一螺杆一端固定连接。

9、进一步改进在于：所述x轴滑移件包括开设在滑座上端的滑槽，滑槽内设有配合块，配合块与滑槽滑动连接，配合块上端与滑台下端固定连接，配合块下端设有第二螺杆，第二螺杆置于滑座内并将配合块贯穿，配合块与第二螺杆螺纹配合，滑座外侧设有电机b，电机b输出端与第二螺杆一端固定连接。

10、进一步改进在于：所述滑台上端设有导轨，导轨设置在第一螺杆的一侧并与第一螺杆保持平行，导轨上的设有导轨块，导轨块下端与导轨滑动连接，导轨上端与装配台下端固定连接。

11、本技术的有益效果为：x轴调节件和y轴调节件能控制采集板在x轴和y轴上的位置，通过旋转调节机构可调节采集板的面朝方向，通过推杆组件可调节采集板的倾斜角度，使采集板能对从斜侧方向发射来的等离子体进行有效采集，采集面更广。

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【技术保护点】

1.一种离子束测量用信息采集设备，括转盘(4)，所述转盘(4)上端设有采集板(5)，所述采集板(5)正面设有等离子采集(17)，其特征在于，所述采集板(5)下端与转盘(4)转动连接，所述采集板(5)的背面设有用于调节转盘(4)和采集板(5)倾斜角度的推杆组件，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述推杆组件包括设在转盘(4)上端的电动推杆(6)，所述电动推杆(6)安装端与设在转盘(4)上端的铰接座A转动连接，所述电动推杆(6)输出端与设在采集板(5)上端的铰接座B转动连接，所述铰接座B置于采集板(5)的背面。

3.根据权利要求1所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述旋转调节机构包括开设在装配台(3)下端的装配槽(18)，所述装配槽(18)内设有电机C(21)、蜗轮(19)和蜗杆(20)，所述蜗杆(20)置于蜗轮(19)一侧并与蜗轮(19)啮合，所述电机C(21)安装端与装配槽(18)槽壁固定连接，所述电机C(21)输出端与蜗杆(20)的一端固定连接，所述蜗轮(19)上端设有转轴(7)，所述转轴(7)与蜗轮(19)固定连接，所述转轴(7)上端端穿过装配台(3)并与转盘(4)固定连接，所述转轴(7)与装配台(3)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述Y轴滑移件包括设在滑台(1)上端的螺杆座，所述螺杆座内设有第一螺杆(12)，所述第一螺杆(12)外侧套设有螺母座(13)，所述螺母座(13)与第一螺杆(12)螺纹配合，所述螺母座(13)上端与装配台(3)下端固定连接，所述螺杆座外侧设有电机A(11)，所述电机A(11)输出端与第一螺杆(12)一端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述X轴滑移件包括开设在滑座(2)上端的滑槽(8)，所述滑槽(8)内设有配合块(14)，所述配合块(14)与滑槽(8)滑动连接，所述配合块(14)上端与滑台(1)下端固定连接，所述配合块(14)下端设有第二螺杆(15)，所述第二螺杆(15)置于滑座(2)内并将配合块(14)贯穿，所述配合块(14)与第二螺杆(15)螺纹配合，所述滑座(2)外侧设有电机B(16)，所述电机B(16)输出端与第二螺杆(15)一端固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述滑台(1)上端设有导轨(10)，所述导轨(10)设置在第一螺杆(12)的一侧并与第一螺杆(12)保持平行，所述导轨(10)上的设有导轨块(9)，所述导轨块(9)下端与导轨(10)滑动连接，所述导轨(10)上端与装配台(3)下端固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种离子束测量用信息采集设备，括转盘(4)，所述转盘(4)上端设有采集板(5)，所述采集板(5)正面设有等离子采集(17)，其特征在于，所述采集板(5)下端与转盘(4)转动连接，所述采集板(5)的背面设有用于调节转盘(4)和采集板(5)倾斜角度的推杆组件，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述推杆组件包括设在转盘(4)上端的电动推杆(6)，所述电动推杆(6)安装端与设在转盘(4)上端的铰接座a转动连接，所述电动推杆(6)输出端与设在采集板(5)上端的铰接座b转动连接，所述铰接座b置于采集板(5)的背面。

3.根据权利要求1所述的一种离子束测量用信息采集设备，其特征在于：所述旋转调节机构包括开设在装配台(3)下端的装配槽(18)，所述装配槽(18)内设有电机c(21)、蜗轮(19)和蜗杆(20)，所述蜗杆(20)置于蜗轮(19)一侧并与蜗轮(19)啮合，所述电机c(21)安装端与装配槽(18)槽壁固定连接，所述电机c(21)输出端与蜗杆(20)的一端固定连接，所述蜗轮(19)上端设有转轴(7)，所述转轴(7)与蜗轮(19)固定连接，所述转轴(7)上端端穿过装配台(3)并与转盘(4)固定连接，所述转轴(7)与装配台(3)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种离子束测...

【专利技术属性】
技术研发人员：左飞龙，余益飞，付德春，
申请(专利权)人：湖北江海行纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：