本发明涉及铌酸锂（ＬｉＮｂＯ３）晶体化学机械抛光（ＣＭＰ）后，铌酸锂晶体表面的应力控制方法。本发明铌酸锂晶体ＣＭＰ后应力控制方法，ＣＭＰ刚刚完成后清洗时，采用逐渐慢慢加大水抛清洗液流量，充分释放铌酸锂晶体表面的热应力，达到铌酸锂晶体内外...

本发明涉及一种超大规模集成电路铝布线抛光后晶片表面洁净处理方法，其特征是：具体步骤如下，制备水抛液：按重量份数计（份）取去离子水，边均匀搅拌边加入表面活性剂０．５％－５％、ＦＡ／Ｏ?ＩＩ型螯合剂０．１－５％，ＦＡ／Ｏ?ＩＩ型阻蚀（氧）剂...

本发明涉及一种极大规模集成电路多层布线碱性抛光后防氧化方法，实施步骤如下（重量％）：（１）制备防氧化液：将ＦＡ／ＯＩ表面活性剂０．５－１％、ＦＡ／ＯＩＩ型螯合剂０．０５－０．５％、ＦＡ／ＯＩＩ型阻蚀剂１－１０％、余量去离子水，搅拌均匀后...

本发明公开了一种镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法，旨在提供一种能够降低镁铝合金材料碱性化学机械抛光的后续加工成本，使用方法简单易行，能够提高晶片表面质量的清洗方法。取电阻为１８ＭΩ以上的超纯水边搅拌边加入非离子表面活性剂和ＦＡ／Ｏ螯合...

本发明涉及蓝宝石衬底材料表面高精密加工过程中化学机械抛光（ＣＭＰ）抛光后表面洁净技术。提供一种选用中性介质的水抛液，该水抛液选用活性剂、螯合剂、阻蚀剂组成，当碱性抛光刚刚完成后，马上使用上述水抛液并采用大流量水抛的方法，可将残留的ＣＭＰ...

本发明涉及计算机硬盘ＩｎＰ基片表面高精密加工过程中化学机械抛光（ＣＭＰ）后表面洁净方法。当碱性抛光刚刚完成后，马上加入活性剂、螯合剂、阻蚀剂组成的抛光液，并采用大流量水抛的方法，可将残留的抛光液冲走，同时可迅速降低表面张力、形成单分子钝...

本发明涉及一种去除硅衬底材料抛光后表面金属杂质的清洗方法，该方法根据硅衬底材料抛光后晶片表面能量高、表面张力大、沾污金属离子严重等现象，提供一种含有螯合剂的电解氧化液进行清洗的方法。当碱性抛光刚完成后，使用该清洗液清洗硅片，可使金属离子...

本发明涉及一种超大规模集成电路铜布线表面低压化学机械抛光方法，实施步骤如下：（１）将以下成分按重量％均匀混合制成抛光液：纳米ＳｉＯ２磨料：３５～８０％，去离子水：１２～６０％，氧化剂：１～３％，活性剂：１～４％，ＦＡ／ＯＩＩ型螯合剂：０...

本发明涉及一种硅衬底材料抛光后表面清洗方法，其特征是：具体步骤如下，制备清洗液：按重量份数计（份）非离子型表面活性剂０．５－５、ＦＡ／ＯＩＩ型螯合剂０．１－５、ＦＡ／Ｏ?ＩＩ型复合阻蚀剂０．１－５、去离子水余量，搅拌均匀后制备成ｐＨ值为...

本发明为一种快速响应和高透过率的ＩＰＳ－ＶＡ液晶显示器（ＦＲ－ＩＰＳ－ＶＡ?ＬＣＤ），该液晶显示器包括：两个偏光片（分为起偏器和检偏器）、两个负Ｃ膜、液晶盒；光线依次通过起偏器、第一负Ｃ膜、液晶盒、第二负Ｃ膜和检偏器。所述的液晶盒是垂面...

本发明石化行业泄漏监测与定位预警系统及其建立方法，涉及一种气体漏失的预防、检查和确定位置的装置，由上位机系统、中心节点、路由节点和终端节点四部分组成。其中，上位机系统中的软件部分包括地理信息系统和虚拟现实控制系统，所有节点均是由ＺｉｇＢ...

本发明公开一种气相输运沉积连续上料设备，其特征在于该设备主要包括主体机及真空发生器和吸料装置；主体机内上部安装有挡板，挡板上面安装有物料分离装置，挡板下面安装有储料仓，储料仓下料口与物料输送装置的进料口衔接，主体机侧壁上分别安装有上料位...

本发明为一种尼龙６增韧用丙烯酸酯功能化共聚物的制备方法。该方法步骤如下：ａ．核层单体的预乳化；ｂ．壳层单体的预乳化；ｃ．丙烯酸酯乳液的制备：向ａ步盛有核层单体预乳液的反应器中分别加入三层单体预乳液，其间补加不同浓度的引发剂溶液得到丙烯酸...

本发明为一种尼龙６增韧用功能化丙烯酸酯共聚物乳液的制备方法。该方法步骤如下：ａ．核层单体的预乳化；ｂ．壳层单体的预乳化；ｃ．丙烯酸酯乳液的制备：向ａ步盛有核层单体预乳液的的反应器中分别加入三层单体预乳液，其间加入不同浓度的三种引发剂溶液...

本发明涉及一种聚丙烯酸酯／纳米ＣａＣＯ３复合材料的制备方法，该方法包括以下步骤：ａ，核层单体的预乳化；ｂ，壳层单体的预乳化；ｃ，丙烯酸酯乳液的制备：向ａ步盛有种子单体预乳液的的反应器滴加由ａ步配制的核层单体预乳液，再滴加由苯乙烯、丙烯腈...

本发明涉及一种聚丙烯酸酯／蒙脱土复合材料的制备方法，该方法包括以下步骤：ａ，核层单体的预乳化；ｂ，壳层单体的预乳化；ｃ，丙烯酸酯乳液的制备：向ａ步盛有种子单体预乳液的反应器中核层单体预乳液、壳层的单体预乳液，其间滴加三组不同组成的引发剂...

本发明公开一种组织工程用三维多孔支架的制备方法及设备。该制备方法采用如下步骤：１．首先将支架按一定厚度切片分层，得到支架每一层的二维截面信息；２．在ＣＡＤ软件的控制下，三维喷墨打印喷头完成支架的第一层片制备；生物微胶囊制备喷嘴在支架的第...

本发明公开一种双轴太阳跟踪平台，包括底座、日光接收器和双轴回转装置，其特征在于双轴回转装置包括倾斜回转轴和水平回转轴；倾斜回转轴与日光接收器连接，并倾斜安装在接收器支架的上端，电机驱动倾斜回转轴转动，并带动日光接收器绕倾斜回转轴转动，完...

本发明一种声源定位装置，涉及应用声波通过确定多个方向的配合来定位的装置，是三维空间声源目标定位装置，由听觉传感器、声源信号微处理器和上位机系统三部分构成。所述听觉传感器是四元正四面体结构的麦克风阵列，四个麦克风分别位于该正四面体结构的四...

本发明公开一种实时热量分摊装置，基于楼栋热计量及通断时间面积法，其特征在于它包括一台楼栋总热计量表、一个楼栋热量分摊装置及至少２套温控式热分配表，温控式热分配表数量与所计量分摊的楼栋内的热用户总数相同；楼栋总热计量表和楼栋热量分摊装置分...