一种莫阿干涉测量系统，用于测量有轮廓表面的形状，其特征在于所述系统包括： 用于把光栅划线投射到有轮廓表面上的投影系统，包括光源和第一周期性光栅，所述第一周期性光栅具有用于产生方波线的第一方波光栅划线阵列，所述投影系统还包括用于对所...