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高知县公立大学法人专利技术
高知县公立大学法人共有3项专利
成膜用掺杂原料溶液的制备方法、层叠体的制造方法、成膜用掺杂原料溶液及半导体膜技术
本发明涉及一种成膜用掺杂原料溶液的制备方法,其特征在于,其包含将溶质不与其他溶剂混合而是首先与第一溶剂混合,从而以与成膜原料另行制备的方式制备掺杂剂前驱体溶液的步骤,其中,所述溶质包含含有卤素的有机掺杂剂化合物或掺杂剂的卤化物,所述制备...
成膜用雾化装置及使用了该成膜用雾化装置的成膜装置以及半导体膜制造方法及图纸
本发明是一种成膜用雾化装置,其具有:原料容器,其容纳原料溶液;筒状部件,其在空间上连接所述原料容器的内部与外部,且设置为其下端在所述原料容器内不与所述原料溶液的液面接触;超声波发生器,其具有一个以上的照射超声波的超声波发生源;以及液槽,...
成膜用雾化装置及使用了该成膜用雾化装置的成膜装置制造方法及图纸
本发明是一种成膜用雾化装置,其具有:原料容器,其容纳原料溶液;筒状部件,其在空间上连接所述原料容器的内部与外部,且设置为其下端在所述原料容器内不与所述原料溶液的液面接触;超声波发生器,其具有一个以上的照射超声波的超声波发生源;以及液槽,...
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