一种纳米定位器10，包括基座12、载体14，所述基座包括承载一组基座轴承22的基座板18，所述载体相对于基座12可移动地被承载并且包括承载操作地耦合至一组基座轴承22的一组载体轴承58的载体板56。纳米定位器10可以包括可变面积的电容式...