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凡利安半导体设备同仁股份有限公司专利技术
凡利安半导体设备同仁股份有限公司共有1项专利
晶片夹持台板和提升装置制造方法及图纸
一种用于将一个晶片夹持在一转盘上的装置,所述晶片有第一和第二两个相对的边缘以及前和后两个平的表面,所述装置包括: 用于支承晶片的台板,所述台板有用于与所述晶片的第一边缘接触的挡墙; 安装在所述台板上用于相对于所述挡墙往复运动...
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