本公开涉及控制流体混合以及复用设定点的系统和方法。本发明的实施例提供了一种连续流动生成混合流体的系统(100，300，500)和方法。该混合流体可以包括不同流体的混合物或者具有诸如温度的不同输入性质的同一流体的混合物。另外，本发明的实施...

本发明公开了一种用于操作泵的系统和方法。在操作的各个阶段期间，可以将在泵中读取的压力与设定值或分布图相比较，以调节电机速度，从而控制压力。根据其它实施例，可以建立泵的一个或更多个参数的基线分布图。然后，可以通过在泵的随后操作期间记录相同...

公开了用于补偿可以在泵送装置的各种封闭空间中发生的压力增加的系统和方法。本发明的实施例可以通过移动泵送装置的泵送机构以调节室的体积来补偿泵送装置的室中的压力增加，从而补偿室中的压力增加。更具体而言，在一个实施例中，为了解决分配室中流体的...

本发明的实施例提供了一种具有能减少形状系数、增加可靠性和适用性特征的泵。另外，本发明的实施例提供了用于温和的流体处理的特征。本发明的实施例包括一种泵，其具有电机驱动的进给级泵和电机驱动的分配级泵。进给级电机和分配级电机包括不同类型的电机...

这里公开了一种用于监测泵的操作（包括验证泵的操作或动作）的系统和方法。对于泵的一个或多个参数可以建立基线型面。然后可以通过在泵的随后操作过程中记录该相同组参数的一个或多个值而产生操作型面。比较操作型面和基线型面可以建立拟合优度测量值。当...

本发明的实施例提供了一种连续流动生成混合流体的系统（１００，３００，５００）和方法。该混合流体可以包括不同流体的混合物或者具有诸如温度的不同输入性质的同一流体的混合物。另外，本发明的实施例提供了一种对模拟设定点进行复用的系统（９００，１...

本发明公开的实施例可以在快速响应时间和低变化浓度的情况下将少量气体引入液体中。在一个实施例中，气体被引导至接触器的多孔元件的气体接触侧上的入口中，液体被引导至位于接触器的多孔元件的液体接触侧上的入口中。液体接触侧和气体接触侧通过多孔元件...

带有基片容器接收区域的清洗站，其具有至少一个向上延伸的清洗喷嘴。该喷嘴具有环形接合唇。基片容器具有用于至少一个基片的支撑装置和清洗端口组件，该清洗端口组件包括从容器面朝下的外向密封凸缘。密封凸缘具有中心孔口和悬臂凸缘部分，该悬臂凸缘部分...

本发明公开了一种用于使泵出装置内的压力波动最小化的系统和方法。通过避免由于关闭阀而在流体路径中形成被关闭或者被截留的空间，并且类似地，通过避免在两个被截留的空间之间打开阀，本发明的实施例可用于减少在泵出装置的流体路径中的压力变化。更具体...

本发明实施例提供了用于优化热管理系统的系统和方法。本发明的一个实施例包括计算机程序产品，其包括用于执行以下操作的可执行计算机指令：接收一组包括流体参数和热交换器参数的工艺参数，和确定分配流体达到目标温度的时间。此外，这些指令可执行以确定...

一种控制设备（３０）包括接收流的入口（３２）、将流引导到流系统的其他部件的出口（３４）、压力损失元件（３６）、压力损失元件（３６）上游的用来测量上游压力的压力传感器（３８）、压力损失元件（３６）下游的用来测量下游压力的压力传感器（４０）...

本发明的实施方案提供控制流体分配的系统及方法，它保证在分配过程结束时干净利索地切断流体并减小分配管嘴中的流体的结晶化。本发明的一种实施方案可以包括控制器，它可以根据第一段关闭范围的第一关闭速度参数来产生引起控制阀关闭的流控制信号，以及根...

本发明实施例提供Ｉ／Ｏ系统，方法和装置供对接泵控制器和控制装置，控制装置具有不同对接和／或信号格式。在一个实施例中，Ｉ／Ｏ接口模块包括处理器，存储器，和至少两个数据通信接口供与泵送控制器和控制装置通信。Ｉ／Ｏ接口模块可从控制装置接收离散...

本发明的实施例提供用于快速校准流量设备（３０）的系统（２００）和方法。制造商或者第三方可为流量设备提供校准流量曲线（如由ｎ阶多项式表示）。可利用一个或者多个校正因子，针对过程流体和实际安装流量设备的系统对校准曲线进行调整。可基于简单实验...

本发明的实施方式提供一种用于减少泵的残存体积的系统和方法。更具体地，本发明的实施方式提供用于确定原位置从而减少分配泵和／或进给泵的残存体积的系统和方法。可以选择隔板的原位置从而分配泵和／或进给泵的室的体积内含有足够的流体用于完成分配周期...

本发明所披露的系统和方法的实施例利用无刷ＤＣ马达（ＢＬＤＣＭ）驱动泵系统中的单级或多级泵，用于实时、平滑运动以及极其精确和可重复地对流体运动和分配量进行位置控制，其在半导体制造中非常有用。该ＢＬＤＣＭ可以利用位置传感器，来对执行定制场定...

公开了一种大体上保持在泵送组件的腔中基准压力的系统和方法。本发明的实施例用来控制马达以补偿或者解决存在于泵送设备的腔中的压力漂移。更具体地说，在基于分配腔中检测到的压力而进行分配过程之前，对分配马达控制以大体上保持在分配腔中的基准压力。...

本发明的实施例涉及一种使用泵来精确分配流体的泵送系统。本发明的实施例提供了通过校准分配系统的柔量来降低由泵分配的流体量的误差的系统和方法。

本发明的实施例提供了包括低轮廓表面安装过滤器的表面安装过滤器。本发明的一个实施例包括安装在基板块上的过滤器壳体，该壳体具有多个流路和在其中形成的过滤腔。该过滤腔限定为使低轮廓过滤器在使用时沿大致水平方向延伸。第一流路限定为将过滤器壳体的...

本发明的各种形式包括方法，其用于减少由热交换装置或质量交换装置进行处理的液体中的微泡。可通过利用液体排除缝隙和表面中的气体来对交换装置进行调整。方法可被用来制备微泡数降低的液体。