低轮廓表面安装过滤器制造技术

本发明专利技术的实施例提供了包括低轮廓表面安装过滤器的表面安装过滤器。本发明专利技术的一个实施例包括安装在基板块上的过滤器壳体，该壳体具有多个流路和在其中形成的过滤腔。该过滤腔限定为使低轮廓过滤器在使用时沿大致水平方向延伸。第一流路限定为将过滤器壳体的入口和过滤腔的第一部分相连，第二流路限定为将过滤腔的第二部分和过滤器壳体的出口相连。过滤器组件设在过滤腔内，并被密封到过滤腔表面上，过滤器组件将过滤腔分隔成相邻的部分，该相邻的部分包括过滤腔的第一部分和过滤腔的第二部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及一种过滤器，尤其是涉及一种低轮廓的表面安装 过滤器。
技术介绍
很多制造工艺需要较高纯度的气体在可调节的流速和压力下传 输。例如在半导体的制造过程中，必须仔细调节气体的纯度和流速， 以防在晶片上产生缺陷。晶片由于缺陷而产生的损失既昂贵又会浪费 时间。在半导体制造过程中，气体经由"气棒(gas stick)"被提供到处 理腔。气棒包括大量诸如过滤器、阀、质量流量控制器、压力传感器 等部件或者其他净化气体、调节气流或监视气体或气流特性的部件。 在传统上，部件间以"内嵌(in-line)"的方式相连，每一部件均通 过VCR连接器和下一部件相连。最近，半导体工业已经进入了模块 化的体系。在模块化体系中，上述气体部件被安装到模块化基板块 (substrate block)中。上述基板块中的流路流动经过基板块和气体部 件之间。模块化体系带来了接口标准化和占地面积缩小化的优点。附图说明图1示出了利用模块化体系的气棒100的一个实施例。在图l的 实例中，压力传感器102安装在基板块104上，过滤器106安装在基 板块108上。气棒100需要基板108能够容纳独立过滤器106。另一 个基板108使气棒100更长、更重且更加昂贵。曾经尝试过利用可叠放的过滤器来缩短上述气棒。对于现有的过 滤器，其具有夹在基板块的两部分之间的净化元件，或具有与来自于 叠置在过滤器顶部上的基板或部件或通向其的各个流路垂直对准的净 化元件。第一种类型的过滤器的缺陷在于在过滤器块的不同部分之间 需要多个密封件。而额外的机械密封件会中断上述流路，增大潮湿表面积和死区。此外，由于过滤器块各部分的密封面之间的尺寸或表面 加工的不规则，所以会造成密封件泄漏。第二种类型的过滤器(例如 其中净化元件和流路对准的过滤器)需要额外的高度来容纳上述净化 元件。因此，需要这样一种低轮廓的过滤器，能够最小化机械密封件， 减小气棒的长度和高度，同时满足模块化基板的占地面积要求。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供了低轮廓过滤器系统及其方法，可以基本上 消除或减小现有过滤器系统和方法的缺陷。尤其是，本专利技术的实施例提供了 一种使用模块化气体控制板(gas panel)设计的低轮廓过滤器。 本专利技术的一个实施例包括适于安装在基板块上的过滤器壳体，该壳体 具有多个流路和在其中形成的过滤腔。该过滤腔被限定为使低轮廓过 滤器在使用时沿大致水平方向延伸。第 一流路被限定为将过滤器壳体 的入口和过滤腔的第一部分相连，第二流路被限定为将过滤腔的第二 部分和过滤器壳体的出口相连。过滤器组件包括过滤器和转接器 (adapter),且设在过滤腔内，并被密封到过滤腔表面上，过滤腔被 分隔成相邻的部分，该相邻的部分包括过滤腔的第一部分和过滤腔的 第二部分。在其他的实施例中，也可以采用垂直定位的过滤器，尽管 这样会损害降低高度的能力。过滤器壳体可以是整体材料件。过滤器包括镍、钢、陶瓷、特氟 隆或者其他材料的盘或管过滤器。根据本专利技术的不同实施例，流路可 以设置得使气体在进入到安装在过滤器顶部的部件之前或气体从该部 件返回之后进行过滤。根据其他的实施例，过滤器也可以作为独立过 滤器，其中可以从基板块中接收气体，将其过滤，然后使其返回到上 述基板块中。本专利技术的另 一个实施例包括一种利用低轮廓过滤器对气体进行过 滤的方法，该方法包括在基板块上安装过滤器，将气体从过滤器壳体 的入口引导到大致水平的第一过滤腔，使气体在大致水平方向流入第 一过滤器组件，并经由第一过滤器来过滤气体，然后将气体从第一过滤腔引导到过滤器壳体的出口处。而且，气体也可以在气体到达安装 在低轮廓过滤器上的部件之前或之后进行过滤。根据其他的实施例， 可以从基板块中接收气体，将其过滤，然后使其返回到上述基板块中。本专利技术另 一个实施例包括低轮廓过滤器的制造方法，该方法包括 形成具有顶面和底面的过滤器壳体，将过滤腔加工到过滤器壳体内， 其中在使用过程中，将过滤腔定位为大致水平，将笫一流路加工在过 滤器壳体内，其中该第 一流路从过滤器壳体内的入口延伸到过滤腔， 将笫二流路加工在过滤器壳体内，其中该第二流路从过滤腔引导到出 口，形成过滤器组件，并将该过滤器组件密封到过滤腔表面上，将该 过滤腔分隔成相邻的部分，其中第一流路进入第一部分中的过滤腔， 第二流路进入第二部分中的过滤腔。本专利技术的实施例相比现有过滤器具有的技术优势就是提供了 一种 低轮廓表面安装过滤器，对于半导体制造应用能够产生足够的压降并具有足够的对数下降值("LRV"),同时又可以最小化过滤器的高度。 本专利技术的实施例提供的另一优势就是可以减小流路中密封件的数量，从而减小过滤器内部的受潮表面面积和死区。这样就节省了烘干过滤器所需的时间(即减少干燥的时间)，并可以使偏离的颗粒从死区中移出并进入气流的可能最小化。 附图简述结合附图并参考下列说明，可以更彻底地理解本专利技术及其优点， 类似的参考标记表示类似的特征，其中图l示出了一个气棒实施例，其中气棒采用了模块化体系和具有 所需基板的独立过滤器；图2示出了采用安装在基板块和部件之间的低轮廓过滤器的缩短 气棒的实施例；图3示出了具有作为独立过滤器的低轮廓过滤器的气棒实施例； 图4A和图4B为低轮廓过滤器的示意图； 图5是根据图4A中低轮廓过滤器的一个实施例的剖视图； 图6是根据图4A中低轮廓过滤器的一实施例的另一剖视图7是另一低轮廓过滤器实施例的示意图8是图7中低轮廓过滤器的剖视图9A和图9B是另一低轮廓过滤器实施例的示意图IO是另一低轮廓过滤器实施例的示意图11是制造过滤器组件实施例的示意图12是另一低轮廓过滤器实施例的剖视图13是另一低轮廓过滤器实施例的剖视图14是低轮廓过滤器的密封结构的示意图15是另一过滤器实施例的示意图。优选实施例详述在上述附图中示出了本专利技术的优选实施例，类似的参考标记用于 表示不同附图中的类似或对应部分。本专利技术的实施例提供了 一种低轮廓过滤器系统及其方法。根据一 个实施例，该低轮廓过滤器包括在顶部和底部具有用于气体进出的 端口的过滤器壳体。过滤器体形成通常水平穿过过滤器体的过滤腔。 过滤器组件将过滤腔分为两个水平相邻的部分。第一流路从过滤器体 顶部或底部上的端口通向第一部分，而第二流路从顶部或底部上的另 一端口通向第二部分。根据上述端口和流路的结构，气体在流经安装 在低轮廓过滤器顶部上的部件之前或之后均可以被过滤。在其他的实 施例中，使用了垂直定向的过滤器，尽管这样会损害降低高度的能力。根据一个实施例，过滤器组件包括管式过滤器(tube filter)和转 接器。转接器可以是环状件或者是和管式过滤器相连并密封过滤腔表 面的其他形式。在位于过滤腔内时，过滤器组件将过滤腔隔成两个水 平相邻的部分，管式过滤器伸入到其中的一个部分中。气体经由第一 流路进入第一部分，流经转接器中心并经由管式过滤器进入第二部分。 随后，气体经由第二流路流出过滤腔的第二部分。根据另一个实施例，上述过滤器组件包括一或多个密封整个过滤 腔的垂直盘状隔膜(例如通常在和过滤腔水平主轴垂直的平面上)。在 该实例中，气体经由第一流路进入第一部分，通过上述盘状隔膜流入过滤腔的笫二部分，并经由第二流路流出过滤腔。上述流路和端口可以构造得使气体在流入叠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低轮廓过滤器，包括：　适于安装在基板块上的过滤器壳体，该过滤器壳体具有多个流路和在其中限定的过滤腔，其特征在于：　该过滤腔限定为使低轮廓过滤器在使用时该过滤腔沿大致水平方向延伸；　第一流路限定为将过滤器壳体的入口和过滤腔的第一部分相连，　第二流路限定为将过滤腔的第二部分和过滤器壳体的出口相连；　过滤器组件，其包括设置在过滤腔内的过滤器，并被密封到过滤腔表面上，过滤器组件将过滤腔分隔成相邻的部分，所述相邻的部分包括过滤腔的第一部分和过滤腔的第二部分。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A迪普里齐奥，N阿博特，C弗罗曼，RB帕特尔，E迈克纳马拉，
申请(专利权)人：恩特格里公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]