用于泵中的机械活塞的位置控制的系统和方法技术方案

本发明专利技术所披露的系统和方法的实施例利用无刷ＤＣ马达（ＢＬＤＣＭ）驱动泵系统中的单级或多级泵，用于实时、平滑运动以及极其精确和可重复地对流体运动和分配量进行位置控制，其在半导体制造中非常有用。该ＢＬＤＣＭ可以利用位置传感器，来对执行定制场定向控制方案的处理器进行实时位置反馈。本发明专利技术的实施例能够通过定制控制方案，根据潜在函数的关键程度，通过增加和减小ＢＬＤＣＭ的操作频率来减小产生的热量，而不会损害分配泵的精确位置控制。该控制方案能够以非常低的速度运行ＢＬＤＣＭ，同时保持恒定的速度，这就使得泵系统能够在很宽的速度范围下操作，具有很小的变化，大大地增加了分配性能和操作能力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种泵送系统包括：　泵；　无刷ＤＣ马达，该无刷ＤＣ马达驱动存在于所述泵中的分配泵；　计算机可读介质，该计算机可读介质承载用于控制所述泵的软件指令；以及　处理器，该处理器与所述计算机可读介质和所述泵通信连接，其中，所述软件指令可由所述处理器执行，以便根据控制方案来控制所述无刷ＤＣ马达。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：G戈纳拉，J塞德罗恩，I加什盖，
申请(专利权)人：恩特格里公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]