本发明涉及一种用于清洁真空泵（１０）的有效方法，真空泵（１０）包括具有至少一个泵转子（１４）的泵室（１２），所述方法的特征在于以下步骤：ａ）利用清洁液体（２８）对泵室（１２）进行填充，ｂ）使清洁液体（２８）分布在泵室（１２）中，ｃ）利用...

本发明涉及一种用于确定真空系统的总漏率的方法，该方法可连续地或循环地操作。该真空系统包括至少一个工艺室（１０）以及连接于该工艺室（１０）的泵送装置（１６）。在根据本发明的循环确定方法中，采取如下步骤：停止向所述工艺室（１０）的工艺气体供...

本发明涉及一种用于在真空设备中支承旋转部件的滚动体轴承，其包括设置在轴承元件（１２、１４）之间的多个滚动元件（１０）。例如，轴承室（２６）在两侧上通过密封元件（２２、２４）封闭。所述密封元件（２２、２４）具有较小的密封间隙（ｓ）。根据本...

本发明涉及一种真空泵、特别是罗茨泵，其包括设置在吸入腔（１０）中的瓣轮（１２）。泵的压力侧（３０）通过连接通道（２２）连接于吸入侧（２０）。在连接通道（２２）中设置阀（２４），所述阀（２４）关闭贯通开口（３２）。当超过压力侧（３０）与吸...

一种用于快速旋转轴的轴装置，包括彼此相连的两个单独的轴颈（１０），该轴例如特别是用作涡轮分子泵的转子轴。在所述两个轴颈（１０）上分别设置了滚动轴承（１２）。通过将轴分成至少两部分，或两个轴颈，能够将滚动轴承（１２）的滚动体（１８）的运行...

一种螺杆式真空泵，其包括设置于增压室(10)中的两个螺杆转子(12，14)。每个所述螺杆转子(12，14)由两个轴承元件(120)支承于泵壳体中并且转子长度(I)与转子轴距(d)之间的比大于3.0。而且，所述螺杆转子(12，14)具有可...

本发明涉及一种涡轮分子泵，其具有与驱动轴（１０）相连接的转子（１２）。所述转子（１２）具有多个转子翼片（１６）。所述转子（１２）由定子环（２６）围绕，其中每个转子翼片（１６）设有一个定子环（２６）。为了在工作时允许所述转子翼片的径向膨胀...

本发明涉及一种涡轮分子泵（１０），包括泵壳体（１４）和多个单独的环形定子叶片盘（１６），所述盘共同形成环形盘组（１８）。在所述环形盘组（１８）与泵壳体（１４）之间直接布置有圆柱形摩擦衬套（２０）。在所述环形盘组（１８）与泵壳体（１４）之...

可能包含活性颗粒（４０）的生产气体（３８）被吸入到真空泵装置中。空气或者纯氧形式的氧气受控制地通过氧气入口（２６、２６ａ、２６ｂ）输送到真空泵装置中。由此在压缩室（２４）中实现了受控制的氧化，从而灰尘在突然通风的情况下不可能被点燃。

本发明涉及一种用于涡轮分子泵的多级泵转子（１０）。泵转子（１０）具有至少两个分开的叶片盘环（１７），各个叶片盘环都具有转子环（１２）和至少一个叶片盘（１４）。无间隙地在外侧围绕叶片盘环（１７）的转子环（１２）的圆筒形的增强管（１８）设置...

在一种用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法中和在一种涡轮分子泵中，利用连接到涡轮分子泵的振动传感器（１０）来确定振动曲线。确定的振动曲线被传送到估计装置（１２），其中振动幅度由估计装置（１２）中的滤波器（１６）进行检测，然后与比较值进行比...

本发明涉及一种真空泵（１０），其具有真空密封壳（１２）并具有用于在壳（１２）内的电气组件（１４，１６，１８）与壳外部之间建立电连接的气密电引入组件（２０）。该引入组件（２０）由以下构件构成：壳孔（２２）；布置在所述孔上的密封物料本体（２...

本发明涉及一种真空泵（１０），其具有：泵转子（１６）；主动磁性轴承（２０、２１）；与所述磁性轴承（２０、２１）相关联的安全轴承（２２、２３）；带有马达定子的电驱动马达（１８），所述马达定子具有多个用于驱动所述泵转子（１６）的定子线圈（１...

真空泵具有通过真空盖（２０）封闭的外壳（１０）。作为电流引入装置的电路板（１６）位于所述外壳（１０）的端壁（１４）和所述真空盖（２０）之间。所述电路板通过具有不同直径的两个密封件（１５、２１）密封，使得环形的分区（２２）在外部暴露于大气...

本发明涉及一种带有转子（１８）的涡轮分子泵（１０），所述转子（１８）通过至少一个滚动轴承（１６）安装在外壳（１２）上。所述滚动轴承（１６）具有不旋转的轴承套（２０）和旋转的轴承套（２２）。所述不旋转的轴承套（２０）借助于弹性振动环（１４...

本发明涉及一种泵轴承装置，尤其适用于诸如涡轮分子泵等快速旋转泵，包括连接至转子轴的泵转子（１０）。转子轴（１４）由两个轴承装置（１２）支承在轴箱（２０）中。各个轴承装置（１２）具有连接至转子轴（１４）的内轴承环（１６）和连接至轴箱（２０...

一种真空泵，具有泵定子（１０）和泵转子（１１）。所述泵转子（１１）包含应答器（１４），所述应答器（１４）可通过所述泵转子的读取器读取。此外，所述泵转子（１１）包含用于测定运行数据（ＢＤ）的传感器（２６）以及存储器（２７）。所述存储器（２...

本发明涉及一种涡轮分子泵（１２），其具有在入口转子级（１８）远端的圆形的吸气口（１６）。所述吸气口（１６）具有至少两个相互分开的开口部分（４１、４２、４３）。

本发明涉及一种质谱仪装置（１０），其具有外壳（８６），所述外壳（８６）具有带有质谱仪预真空出口（３０）的质谱仪预真空真空腔（２０）、至少两个质谱仪高真空真空腔（２１、２２、２３）和与所述高真空真空腔（２１、２２、２３）连接的集成的涡轮分...

本发明涉及一种用于确定涡轮气泵的泵转子的疲劳的方法，具有如下步骤：连续地测定泵转子的转子转速（ｎ）；测定所考虑的随时间变化的转速曲线的局部的转速最大值和最小值；将转速最大值和最小值相互关联以形成对；测定用于每个转速对的成对疲劳值（Ｌ）；...