本发明涉及晶圆清洗机领域的半自动晶圆清洗机及晶圆清洗方法，包括机架和设置于机架的电控箱及人机交互界面，清洗区内设置有清洗机构，清洗机构包括清洗腔体、主轴组件、毛刷摆臂、N2摆臂和二流体摆臂，机架的后端设有与清洗腔体的内部导通的排风管，排...

本发明涉及晶圆清洗机领域的全自动单晶圆清洗机及单晶圆清洗方法，包括机架、电控箱和装载机构，机架与装载机构之间设置有上下料机械手，清洗区内由靠近上下料机械手的一端至远离上下料机械手的一端依次设置有中转校正机构、正面清洗机构、背面清洗机构和...

本实用新型公开了一种自动上下料机，包括一结构主体，所述结构主体包括设置于水洗机两侧的上料机与下料机，所述上料机与包括第一防护罩以及设置于所述第一防护罩内的第一机架，所述第一机架上设置有上料料仓、第一弹夹夹持机构、载板夹料机构以及第一载板...

本发明公开了全自动单晶圆清洗机及晶圆清洗方法，包括机架、机构安装板、晶圆装载端口、风机过滤机组、晶圆搬运机构、晶圆校正机构、晶圆离心清洗机构、二流体清洗摆臂、挡水圈及CDA风干摆臂，晶圆清洗方法包括以下步骤：步骤S100，第二机械臂及真...

本实用新型公开了在线式晶圆清洗机，包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗...

本实用新型公开了一种在线清洗机，包括机体，机体设有机罩以及装配在内部的层板，层板表面设有一面开口的清洗罩，清洗罩内设有清洗转盘，清洗转盘表面还设有若干清洗工位，层板表面还设有置于清洗罩开口处外侧的输送轨道，输送轨道装放了从一端投入滑动的...

本实用新型公开了全自动单晶圆清洗机，包括机架及机构安装板，机架的前侧与左侧均设有一个晶圆装载端口，且机架的上端设有至少一组风机过滤机组，机架的内部还设有晶圆搬运机构及晶圆校正机构，机构安装板上设有晶圆离心清洗机构、二流体清洗摆臂、挡水圈...

本实用新型公开了一种晶圆盒清洗设备,包括一机架，所述机架内设有清洗腔，所述清洗腔内侧设有放料架、清洗切水机构及烘干机构，所述放料架设于所述清洗腔内侧中心部，所述清洗切水机构及烘干机构呈圆周均匀分布于所述放料架的侧面且固定于所述机架上；所...

本实用新型公开了在线式清洁机，包括一结构主体，结构主体包括外壳，外壳包括电控柜以及设置于电控柜上的清洁柜；清洁柜内设有清洁箱，清洁箱内设有清洗转盘，清洁箱内壁上设有清洁装置，清洗转盘上设有若干个治具，治具上设有用于夹紧的压板机构，治具内...

本发明公开了一种晶圆盒清洗设备及其清洗工艺,包括一机架，所述机架内设有清洗腔，所述清洗腔内侧设有放料架、清洗切水机构及烘干机构，所述放料架设于所述清洗腔内侧中心部，所述清洗切水机构及烘干机构呈圆周均匀分布于所述放料架的侧面且固定于所述机...

本发明公开了在线式晶圆清洗机，包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体...

本实用新型公开了在线式毛刷清洗机，包括设备机架与机罩，设备机架台面上设有载板输料机构、毛刷移动机构、缓存机构以及载板下料机构，同时设备机架的台面上设有顶升机构以及限位机构，且设备机架台面上还设有一防水罩，毛刷安装组件在移动合适的位置后，...

本实用新型公开了双工位VCSEL半自动测试机，包括测试机本体，测试机本体包括设备机架与防护外壳，设备机架台面上具有对VCSEL芯片进行LIV测试的LIV测试工位、对VCSEL芯片进行FF测试的FF测试工位以及对VCSEL芯片进行NF测试...

本实用新型公开了一种盖板清洗线上下料机，包括一结构主体，所述结构主体包括上料机与下料机，所述上料机与下料机呈正反向分布；所述上料机进料端与下料机出料端分别设有推车机构；所述上料机与下料机内部设有输送机构，所述输送机构由上层输送线与下层输...

本实用新型公开了一种在线式清洗机，包括清洗机主体，所述清洗机主体设有置于外层的机壳，所述机壳内设有固定在内壁形成上下分层的隔板，所述隔板上方设有转动的清洗盘，所述清洗盘四周均匀分布有多个固定在上方的治具，所述治具底部设有对应固定在清洗盘...

本实用新型公开了一种全自动托盘清洗机，一种全自动托盘清洗机，包括结构主体，所述结构主体包括机架，所述机架上分别设有机头及机尾，所述机架的底部分别设有水路机构、抽风机构及传动机构，所述机头前端设有进料接驳段，所述机尾远离所述进料接驳段的一...

本实用新型公开了一种离心清洗机，包括一清洗机本体，所述清洗机本体由上箱体与下箱体组成；所述上箱体内设有产品固定装置与清洗装置；所述产品固定装置包括清洗盘，所述清洗盘上表面设有多组清洗槽与固定夹具，所述清洗盘下表面设有旋转驱动机构；所述清...

本实用新型公开了一种超声波振动水洗机，包括结构主体，所述结构主体包括机箱及设于机箱内部的机架，所述机架内分别设有升降机构、振动机构、压紧机构及导向机构，所述机架中部设有安装板，所述机架底部设有清洗槽，所述清洗槽上端外侧围绕设有排污槽，所...

本发明公开了在线式毛刷清洗机，包括设备机架与机罩，设备机架台面上设有载板输料机构、毛刷移动机构、缓存机构以及载板下料机构，同时设备机架的台面上设有顶升机构以及限位机构，且设备机架台面上还设有一防水罩，毛刷安装组件在移动合适的位置后，溶剂...

本发明公开了双工位VCSEL半自动测试机，包括测试机本体，测试机本体包括设备机架与防护外壳，设备机架台面上具有对VCSEL芯片进行LIV测试的LIV测试工位、对VCSEL芯片进行FF测试的FF测试工位以及对VCSEL芯片进行NF测试的N...