在线式晶圆清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了在线式晶圆清洗机，包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构；所述机罩上端面还设置有若干个与机罩内部相通的FFU空气过滤装置，若干个所述FFU空气过滤装置等间距的排列于所述机罩上端面；所述机架底部四周连接有多个自由调节的升降脚杯，所述机罩顶部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯；本实用新型专利技术实现一体化全自动清洗，提高了工作效率，降低了人工投入。降低了人工投入。降低了人工投入。

【技术实现步骤摘要】
在线式晶圆清洗机


[0001]本技术涉及清洗机
，具体为在线式晶圆清洗机。

技术介绍

[0002]清洗机是利用高压纯水和空气混合后形成雾化状态的二流体对工件表面微尘进行清洗的设备，依据流体力学原理，其清洗能力主要由两部分作用力组成,雾化的水和洁净空气生产的高压二体流产生垂直方向压力,高速离心转盘产生水平方向的剪切力，能有效去除模组上残留的异物，但传统技术中的离心清洗机需要人工上下料，整体工作效率低，无法满足工作使用需求。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术方案的不足，本技术提供在线式晶圆清洗机，能有效的解决
技术介绍
提出的问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]在线式晶圆清洗机，包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构；
[0006]所述提篮上料机构包括与所述机架相连接的第一安装座，所述第一安装座上设置有Z轴升降模组以及驱动所述Z轴升降模组进行升降的第一伺服电机，所述Z轴升降模组上设置有晶圆上料装置以及用于对所述晶圆上料装置进行固定的定位装置；
[0007]所述夹爪机构包括与所述机架相连接的第二安装座，所述第二安装座上端面设置有夹持机构移动模组以及驱动所述夹持机构移动模组运行的第二伺服电机，所述夹持机构移动模组上活动设置有用于夹持晶圆的夹持机构；
[0008]所述校正机构包括设置于与所述机架相连接的第三安装座，所述第三安装座上端面设置有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有丝杆螺母座，所述丝杆螺母座上固定连接有用于对晶圆进行校正的校正组件；
[0009]所述上料机械手机构包括上料伺服电机，所述上料伺服电机的输出轴连接有第一水平移动模组，所述第一水平移动模组上活动设置有上料组件，所述上料组件包括上料升降气缸，所述升降气缸的输出轴连接有上料真空吸盘；
[0010]所述下料机械手机构包括下料伺服电机，所述下料伺服电机的输出轴连接有第二水平移动模组，所述第二水平移动模组上活动设置有下料组件，所述下料组件包括下料升降气缸，所述升降气缸的输出轴连接有下料真空吸盘；
[0011]所述清洗腔体机构包括主轴升降气缸，所述主轴升降气缸的输出轴连接有清洗组件，所述清洗组件清洗腔，所述清洗腔内设置有离心清洗盘，所述离心清洗盘的底面设置有带动所述离心清洗盘进行转动旋转主轴电机。
[0012]作为进一步阐述，所述提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料
机械手机构以及清洗腔体机构均与所述触控屏电性连接。
[0013]作为进一步阐述，所述机罩上端面还设置有若干个与机罩内部相通的FFU空气过滤装置，若干个所述FFU空气过滤装置等间距的排列于所述机罩上端面。
[0014]作为进一步阐述，所述机架底部四周连接有多个自由调节的升降脚杯，所述机罩顶部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯。
[0015]作为进一步阐述，所述主轴升降气缸用于带动所述清洗组件进行升降，所述旋转主轴电机通过联轴器连接有转轴，所述转轴远离旋转主轴电机一端与所述离心清洗盘固定连接，所述清洗腔一侧设置有与所述清洗腔相通的排风口。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本实施例提供的在线式晶圆清洗机，通过提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构之间的配合，实现一体化全自动清洗，提高了工作效率，降低了人工投入；在清洗前很好地完成对晶圆的提篮上料以及校正，采用提栏式上料（兼容8寸、12寸带钢Ring环晶圆产品），配备自动上下料机械臂取放Ring环；在清洗过程中利用了高速离心设计，实现晶圆二流体清洗(可分段设置)加CAD风切水以及离心干燥，清洗过程全自动，无需人工干预；且机罩顶部配备FFU空气过滤装置，FFU空气过滤装置等级U15（0.1~0.2um效率99.9995%），FFU空气过滤装置配备除静电离子风系统配备空气过滤系统，使用压缩空气更加洁净；且清洗机整体SUS304不锈钢机身坚固耐用，耐酸性、碱性等清洗液。
附图说明
[0018]图1为本技术整体结构示意图
[0019]图2为本技术内部结构示意图；
[0020]图3为本技术提篮上料机构的结构示意图；
[0021]图4为本技术夹爪机构的结构示意图；
[0022]图5为本技术校正机构的结构示意图；
[0023]图6为本技术上料机械手机构的结构示意图；
[0024]图7为本技术下料机械手机构的结构示意图；
[0025]图8为本技术清洗腔体机构的结构示意图。
[0026]图中标号：
[0027]1‑
机架；2
‑
机罩；3
‑
触控屏；4
‑
提篮上料机构；5
‑
夹爪机构；6
‑
校正机构；7
‑
上料机械手机构；8
‑
下料机械手机构；9
‑
清洗腔体机构；10
‑
第一安装座；11
‑
Z轴升降模组；12
‑
第一伺服电机；13
‑
晶圆上料装置；14
‑
定位装置；15
‑
第二安装座；16
‑
夹持机构移动模组；17
‑
第二伺服电机；18
‑
夹持机构；19
‑
第三安装座；20
‑
第三伺服电机；21
‑
丝杆；22
‑
丝杆螺母座；23
‑
校正组件；24
‑
上料伺服电机；25
‑
第一水平移动模组；26
‑
上料组件；27
‑
上料升降气缸；28
‑
上料真空吸盘；29
‑
下料伺服电机；30
‑
第二水平移动模组；31
‑
下料组件；32
‑
下料升降气缸；33
‑
下料真空吸盘；34
‑
主轴升降气缸；35
‑
清洗组件；36
‑
清洗腔；37
‑
离心清洗盘；38
‑
旋转主轴电机；39
‑
FFU空气过滤装置；40
‑
升降脚杯；41
‑
三色灯；42
‑
转轴；43
‑
排风口。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.在线式晶圆清洗机，其特征在于：包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构；所述提篮上料机构包括与所述机架相连接的第一安装座，所述第一安装座上设置有Z轴升降模组以及驱动所述Z轴升降模组进行升降的第一伺服电机，所述Z轴升降模组上设置有晶圆上料装置以及用于对所述晶圆上料装置进行固定的定位装置；所述夹爪机构包括与所述机架相连接的第二安装座，所述第二安装座上端面设置有夹持机构移动模组以及驱动所述夹持机构移动模组运行的第二伺服电机，所述夹持机构移动模组上活动设置有用于夹持晶圆的夹持机构；所述校正机构包括设置于与所述机架相连接的第三安装座，所述第三安装座上端面设置有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有丝杆螺母座，所述丝杆螺母座上固定连接有用于对晶圆进行校正的校正组件；所述上料机械手机构包括上料伺服电机，所述上料伺服电机的输出轴连接有第一水平移动模组，所述第一水平移动模组上活动设置有上料组件，所述上料组件包括上料升降气缸，所述升降气缸的输出轴连接有上料真空吸盘；所述下料机械手机构包括下料伺服...

【专利技术属性】
技术研发人员：江永，
申请(专利权)人：东莞市凯迪微智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：