基板处理装置(10)的基板处理模块(14)具有：在第一方向上排列并且能配置基板的第一槽(32)和第二槽(30)；以及输送基板(W)的两个第一输送部(34、36)。一方的第一输送部(34)具备能升降且在保持有基板(W)的状态下配置于第二槽...

基板处理装置(10)的基板处理模块(14)具有：第一槽(32)和第二槽(30)，在第一方向上排列，能配置基板；第一输送部(34、36)，使基板(W)移动至第二槽(30)和第一槽(32)内；以及第二输送部(20)，在与第一方向交叉的第二方...

本发明的基板处理装置(A1)包括：能够贮存用于处理基板(91)处理的处理液(92)的杯状部件(1)；能够沿着在铅垂方向(z)上延伸的升降轴(31)在杯状部件(1)内升降的工作台(2)；设置在工作台(2)上的、用于载置基板(91)的载置台...