本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种管道清洗装置，包括灌洗连接管，灌洗连接管的两端分别设有第一连接头和第二连接头，第一连接头内设有第一排气通道和第一清洗通道，第一排气通道与灌洗连接管连通；第二连接头内设有第二排气通道和第二清洗通道，...