本发明提供一种含高浓度微粒及难分解有机物质之废水的处理方法，例如一种制备硅晶片时所产生的废水的处理方法，包含从该废水中分离出其中所含的微粒，而得到的一实质上不含微粒的水；以厌氧微生物分解方式处理该实质上不含微粒的水，使得其中所含的有机物...