成辉辉专利技术

成辉辉共有1项专利

  • 本发明提供了一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构,涉及半导体技术领域,包括:安装机构;主体为圆柱形结构;固定件上的圆孔内部安装有调节件;滑槽开设在固定件内部顶端;滑杆安装在滑槽内部;夹持件之间通过滑杆上的弹簧相连接,且夹持件侧边与凸轮相...
1