本技术属于半导体检测设备技术领域，尤其涉及一种双面蓝膜晶圆检测装置，包括第一安装架：所述第一安装架上安装有Z轴移动模组，所述Z轴移动模组的一侧外壁上设置有上相机模块和下相机模块，且上相机模块位于下相机模块的上方，所述上相机模块与下相机模...