本实用新型公开了一种高度集成的太阳能电池片槽式清洗制绒设备，包括按硅片流转方向依次设置的插片机、满花篮传递装置、清洗制绒机、空花篮回传线；插片机设置在清洗制绒机的上料端前端；满花篮传递装设置放置在插片机与上料端之间；清洗制绒机的机械手将...

本实用新型公开了一种太阳能电池片清洗制绒设备的溢流槽体结构，包括由内至外依次设置的槽宽及槽高依次增加的主槽、副槽一和副槽二；运行时，溶液由副槽一注入并通过循环泵打入主槽中，而主槽中的溶液可通过侧壁的顶部溢出流入到副槽一中，由此形成溶液的...

本实用新型公开了一种清洗制绒用存放硅片的花篮，包括对称设置的侧板，以及连接两侧侧板的顶部齿杆、侧部齿杆和底部齿杆，侧部齿杆位于侧板的左侧或右侧；顶部齿杆上等距设置有顶部卡齿；侧部齿杆上等距设置有侧部卡齿；底部齿杆上等距设置有底部卡齿；其...

本发明公开了一种太阳能电池导电电极线的分布方法，包括主栅线和细栅线并分别印刷；单根细栅线在长度方向上间断式分割为多段细栅主体，间断处通过主栅导通连接；单根主栅线在长度方向上间断式分割为多段主栅主体，每段主栅主体用于导通同一根细栅线的相邻...

本发明公开了一种无背面银电极HIT电池，包括硅片，硅片的正反面均镀有非晶硅层，正面非晶硅层表面镀有一层磷掺杂的N层，在背面非晶硅表面镀有一层硼掺杂的P层，在正面N层及背面P层表面均镀有一层透明导电层，在正面透明导电层表面印刷有银电极，在...

本发明公开了一种安全可控的太阳能硅片RIE制绒工艺，将硅片置于工艺反应腔体内，通过外围厂务供气系统对工艺反应腔体进行长距离供应O2和SF6，并同时通过SiCL4源瓶通过短距离管道对工艺反应腔体供应SiCL4；SiCL4、O2和SF6在工...

本实用新型公开了一种真空腔室腔内升降机构，其对称安装于真空腔室的底部四个角，并通过密封套、O型圈一、Y型密封圈、O型圈二、升降轴和真空腔室共同形成一个良好的密封环境，使外部气体无法进入真空腔室，气缸在驱动气体的推动下实现上下动作，从而带...

本发明公开了一种干法制绒黑硅后清洗工艺，包括：使用HF去除硅片表面的反应副产物，再依次使用去离子水、KOH溶液、去离子水、HF/HCL的混合溶液、去离子水清洗硅片后脱水烘干得到黑硅成品。本发明由于避免了使用含有N元素的HNO3及BOE而...

本实用新型公开了一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、工艺腔及卸载腔，工艺腔通过泵管路对应设置有工艺泵；装载腔与卸载腔通过泵管路连接至同一台真空泵，通过控制载板进出装载腔和卸载腔的节拍和流程并充分利用真空...

本实用新型公开了一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔；装载腔、工艺腔及卸载腔分别通过泵管路对应设置有装载泵、工艺泵及卸载泵；装载腔和卸载腔分别设置载板顶升机构，装载腔的...

本实用新型公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设...

本发明公开了一种真空腔室腔内升降机构，其对称安装于真空腔室的底部四个角，并通过密封套、O型圈一、Y型密封圈、O型圈二、升降轴和真空腔室共同形成一个良好的密封环境，使外部气体无法进入真空腔室，气缸在驱动气体的推动下实现上下动作，从而带动升...

本实用新型公开了一种干法制绒设备工艺反应腔，包括：由四个侧板和一个底板围成的腔体，并通过设置在腔体内的隔板将腔体分为两个连通的腔室；两个分别通过连接轴转动连接至对应两个腔室上方并可单独侧向掀开的上盖；上盖由一体的盖体上加工多道并列的工艺...

本实用新型公开了一种搭接式碳纤维载板，包括碳纤维材质横向筋板、碳纤维材质横向主筋、碳纤维材质纵向主筋及石墨材质载板导向条；两端载板导向条分别通过M6螺钉连接在两端横向筋板上；纵向主筋沿横向等间距平行排列且分别通过M2螺钉搭接在横向主筋和...

本发明公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设置有...

本发明公开了一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔；装载腔、工艺腔及卸载腔分别通过泵管路对应设置有装载泵、工艺泵及卸载泵；装载腔和卸载腔分别设置载板顶升机构，装载腔的载板...

本发明公开了一种干法制绒设备工艺反应腔，包括：由四个侧板和一个底板围成的腔体，并通过设置在腔体内的隔板将腔体分为两个连通的腔室；两个分别通过连接轴转动连接至对应两个腔室上方并可单独侧向掀开的上盖；上盖由一体的盖体上加工多道并列的工艺槽。...

本发明公开了一种搭接式碳纤维载板，包括碳纤维材质横向筋板、碳纤维材质横向主筋、碳纤维材质纵向主筋及石墨材质载板导向条；两端载板导向条分别通过M6螺钉连接在两端横向筋板上；纵向主筋沿横向等间距平行排列且分别通过M2螺钉搭接在横向主筋和横向...