一种真空腔室腔内升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔室腔内升降机构，其对称安装于真空腔室的底部四个角，并通过密封套、O型圈一、Y型密封圈、O型圈二、升降轴和真空腔室共同形成一个良好的密封环境，使外部气体无法进入真空腔室，气缸在驱动气体的推动下实现上下动作，从而带动升降轴和顶板托着载板进行升降动作，在有腐蚀气体的环境下不但能长期保证良好的动密封效果，而且各升降机构之间能保证良好的同步性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室腔内升降机构
本技术涉及太阳能电池制备
，特别涉及一种可以用于干法制绒设备和氧化铝镀膜设备的真空腔室腔内升降机构。
技术介绍
在太阳能电池生产过程中，电池干法制绒工艺或镀膜工艺过程的腔室需要400-450℃的高温，腔室需要维持这一恒定温度以实现工艺的需求。同时需要在真空环境中完成上述工艺，腔室的真空度为1-500Pa。电池干法制绒或镀膜设备具有腔室温度高、真空度高的特点，因而真空腔室内部在工作时保证密封性是至关重要的。而现有的干法制绒设备或镀膜设备利用升降机构对真空腔室内部的载板进行升降操作时存在密封性能不足的问题；也有将升降机构直接置于腔室内部以提高密封性，但升降机构置于腔室内部会占用大量腔室空间且承受腔室内等离子体的轰击而造成严重腐蚀等问题。因而，符合克服上述不足，是提高干法制绒或镀膜工艺密封性及设备寿命的关键。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种真空腔室腔内升降机构，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；所述固定底座与腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；所述固定底座与腔室底板之间以及所述固定底座与升降轴之间均设置有密封组件以防止外部气体进入所述真空腔室的内部。

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；所述固定底座与腔室底板之间以及所述固定底座与升降轴之间均设置有密封组件以防止外部气体进入所述真空腔室的内部。2.根据权利要求1所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述固定底座内部设置有套设在所述升降轴外部的密封套以用于所述固定底座与升降轴之间的密封，且所述密封套的一端具有位于所述固定底座与腔室底板之间的环形凸台以用于所述固定底座与腔室底板之间的密封。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海剑，庄正军，丁建宁，袁宁一，上官泉元，
申请(专利权)人：常州比太黑硅科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32