一种真空腔室腔内升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔室腔内升降机构，其对称安装于真空腔室的底部四个角，并通过密封套、O型圈一、Y型密封圈、O型圈二、升降轴和真空腔室共同形成一个良好的密封环境，使外部气体无法进入真空腔室，气缸在驱动气体的推动下实现上下动作，从而带动升降轴和顶板托着载板进行升降动作，在有腐蚀气体的环境下不但能长期保证良好的动密封效果，而且各升降机构之间能保证良好的同步性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室腔内升降机构
本技术涉及太阳能电池制备
，特别涉及一种可以用于干法制绒设备和氧化铝镀膜设备的真空腔室腔内升降机构。
技术介绍
在太阳能电池生产过程中，电池干法制绒工艺或镀膜工艺过程的腔室需要400-450℃的高温，腔室需要维持这一恒定温度以实现工艺的需求。同时需要在真空环境中完成上述工艺，腔室的真空度为1-500Pa。电池干法制绒或镀膜设备具有腔室温度高、真空度高的特点，因而真空腔室内部在工作时保证密封性是至关重要的。而现有的干法制绒设备或镀膜设备利用升降机构对真空腔室内部的载板进行升降操作时存在密封性能不足的问题；也有将升降机构直接置于腔室内部以提高密封性，但升降机构置于腔室内部会占用大量腔室空间且承受腔室内等离子体的轰击而造成严重腐蚀等问题。因而，符合克服上述不足，是提高干法制绒或镀膜工艺密封性及设备寿命的关键。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种真空腔室腔内升降机构，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；所述固定底座与腔室底板之间以及所述固定底座与升降轴之间均设置有密封组件以防止外部气体进入所述真空腔室的内部。其中，所述固定底座内部设置有套设在所述升降轴外部的密封套以用于所述固定底座与升降轴之间的密封，且所述密封套的一端具有位于所述固定底座与腔室底板之间的环形凸台以用于所述固定底座与腔室底板之间的密封。其中，所述密封套与升降轴之间设置有O型圈一，所述密封套的环形凸台与腔室底板之间设置有O型圈二。其中，所述密封套与升降轴之间还设置有Y型密封圈用于防止杂质进入升降机构内部并加强密封套与升降轴间的动密封。其中，所述Y型密封圈位于所述O型圈一与O型圈二之间。其中，所述O型圈一、O型圈二及Y型密封圈的材质为耐腐蚀、耐高温的氟橡胶。其中，所述升降轴的表面喷涂有一层特氟龙，且升降轴的外圈加工为高精度的密封面，保证了良好的动密封性和抗腐蚀性。通过上述技术方案，本技术通过在真空腔室的腔室底板外侧安装升降机构，并通过密封套、O型圈一、Y型密封圈、O型圈二、升降轴和真空腔室共同形成一个良好的密封环境，使外部气体无法进入真空腔室，气缸在驱动气体的推动下实现上下动作，从而带动升降轴和顶板托着载板进行升降动作，在有腐蚀气体的环境下不但能长期保证良好的动密封效果，而且各升降机构之间能保证良好的同步性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术实施例所公开的底部四角设置有升降机构的真空腔室的侧视结构示意图；图2为本技术实施例所公开的底部四角设置有升降机构的真空腔室的俯视结构示意图；图3为本技术实施例所公开的升降机构的立体结构示意图；图4为本技术实施例所公开的升降机构的剖视结构示意图。图中数字表示：10.真空腔室11.腔室底板20.载板30.升降机构31.固定底座32.气缸33.升降轴34.顶板35.密封套36.O型圈一37.O型圈二38.Y型密封圈。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。参考图1-4，本技术提供的对称安装在真空腔室10底部四个角的腔内升降机构30，升降机构30包括安装于真空腔室10的腔室底板11外侧的固定底座31，固定底座31上安装有气缸32，气缸32驱动有升降轴33，升降轴33的一端通过腔室底板11伸入真空腔室10内部且端部设置有对应载板20的顶板34；升降轴33的表面喷涂有一层特氟龙，且升降轴33的外圈加工为高精度的密封面，保证了良好的动密封性和抗腐蚀性；固定底座31内部设置有套设在升降轴33外部的密封套35以用于固定底座31与升降轴33之间的密封，且密封套35的一端具有位于固定底座31与腔室底板11之间的环形凸台以用于固定底座31与腔室底板11之间的密封；密封套35与升降轴33之间设置有O型圈一36，密封套35的环形凸台与腔室底板11之间设置有O型圈二37；密封套35与升降轴33之间还设置有位于O型圈一36与O型圈二37之间的Y型密封圈38用于防止杂质进入升降机构30内部并加强密封套35与升降轴33间的动密封，且O型圈一36、O型圈二37及Y型密封圈38的材质为耐腐蚀、耐高温的氟橡胶。本技术通过在真空腔室10的腔室底板11外侧安装升降机构30，并通过密封套35、O型圈一36、Y型密封圈38、O型圈二37、升降轴33和真空腔室10共同形成一个良好的密封环境，使外部气体无法进入真空腔室10，气缸32在驱动气体的推动下实现上下动作，从而带动升降轴33和顶板34托着载板20进行升降动作，在有腐蚀气体的环境下不但能长期保证良好的动密封效果，而且各升降机构30之间能保证良好的同步性。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；所述固定底座与腔室底板之间以及所述固定底座与升降轴之间均设置有密封组件以防止外部气体进入所述真空腔室的内部。

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，包括安装于真空腔室的腔室底板外侧的固定底座，所述固定底座上安装有气缸，所述气缸驱动有升降轴，所述升降轴的一端通过所述腔室底板伸入所述真空腔室内部且端部设置有对应载板的顶板；所述固定底座与腔室底板之间以及所述固定底座与升降轴之间均设置有密封组件以防止外部气体进入所述真空腔室的内部。2.根据权利要求1所述的一种真空腔室腔内升降机构，其特征在于，所述固定底座内部设置有套设在所述升降轴外部的密封套以用于所述固定底座与升降轴之间的密封，且所述密封套的一端具有位于所述固定底座与腔室底板之间的环形凸台以用于所述固定底座与腔室底板之间的密封。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海剑，庄正军，丁建宁，袁宁一，上官泉元，
申请(专利权)人：常州比太黑硅科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32