本申请涉及一种图像定位区域选取方法、装置、设备和存储介质。所述图像定位区域选取方法包括：获取待选取的参考图像和用于图像匹配的图像匹配参数；对参考图像进行模糊区域滤除处理，生成参考图像的清晰区域图像；基于清晰区域图像进行特征提取，得到图像...

本技术涉及一种光学检测装置、探测设备以及探针台，其能够实现镜面晶圆吸盘表面的对焦和平面度检测。该光学检测装置包括投影组件和探测组件。该投影组件包括沿照明光路依次布置的第一同轴光源、透光标识件、投影镜组、第一分光元件以及物镜，用于将携带该...

本发明公开了一种膜厚确定方法、装置、计算机设备和存储介质，膜厚确定方法包括获取待测薄膜的实际光谱数据；根据实际光谱数据计算待测薄膜的膜厚区间；对膜厚区间进行划分以得到多个子膜厚区间并确定每一子膜厚区间中的区间膜厚值；对多个区间膜厚值分别...

本申请涉及晶圆检测技术领域，特别是涉及一种料盒定位工装及晶圆检测装置。该料盒定位工装包括工装平台，以及设置于工装平台的第一定位组件和第二定位组件，第一定位组件安装于第二定位组件的外侧；第一定位组件具有成角度布置的第一支撑面和第一夹持部，...

本技术涉及一种线光准直镜头、线光发射器以及检测设备，其能够实现较小线宽照明，有利于提升三角测量的精度，便于减小能够测量到的最小凸块高度和最小凸块间距。该线光准直镜头，包括从物侧到像侧沿光轴方向依次排布的：反向弯月透镜、凸凹胶合透镜、光阑...

本公开实施例公开了一种工作距离查找

本申请涉及一种缺陷图像标注方法

本申请公开了一种晶圆边缘缺陷检测方法

本实用新型涉及一种校准组件，包括：机械手校准件，机械手校准件上设有第一对位标识及第二对位标识；第一对位标识所在的位置与搬运机构的机械手的抓取中心正对；第一校准件，第一校准件上设有第三对位标识及第四对位标识；第三对位标识所在的位置与产品的...

本发明涉及一种光学检测装置

本申请涉及一种晶圆图像校正方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取待校正图像，并基于所述待校正图像以及模板图像确定第一互功率谱图像；获取所述第一互功率谱图像中的多个极大值点，并确定每两个所述极大值点之间距离中的最大距离以及最...

本申请涉及一种复合型成像系统，包括：沿光轴方向设置的相机、分光元件和成像镜头，成像镜头用于收集来自样品表面的反射光或散射光至相机成像；第一光源，能够发出同轴光经分光元件入射到样品表面形成反射光；第二光源，能够在多个角度下发射入射光至样品...

本实用新型涉及一种位移平台及光学测量设备，位移平台包括基板、导轨、滑块及压电陶瓷。导轨固定于所述基板并沿第一方向延伸，滑块可滑动地安装于导轨；压电陶瓷固定于基板并与所述滑块固定连接。导轨能够对滑块实现限位及引导，从而将滑块的滑动方向限定...

本实用新型涉及一种干涉轮廓测量设备，包括底座、位移平台、光学干涉模块及相机。位移平台包括压电陶瓷及与导向机构，导向机构与压电陶瓷配合，能够将电信号转化成导向机构的移动端在第一方向上的动作。光学干涉模块的干涉物镜能够在位移平台的带动下沿第...

本实用新型涉及一种承载装置及晶圆检测设备，承载装置包括底座、载片台及顶升机构。将晶圆转移至载片台时，驱动组件先驱动多个顶杆伸出于承载面，再由搬运机器人将晶圆放置于顶杆的顶端，故晶圆将由多个顶杆共同支撑并保持与承载面平行。接着，多个顶杆在...

本申请公开了一种晶圆裂痕检测方法、装置、电子设备及存储介质，属于裂痕检测技术领域，其中，晶圆裂痕检测方法包括：通过对比分析待测晶圆图像与标准晶圆图像得到差别图像；基于动态规划方法在差别图像中构建多个子图像；对每个子图像进行路径查找得到子...

本申请涉及一种图像匹配的定位核区域自动提取方法、装置、设备和介质。该方法包括：获取设置的参考图像和图像匹配数据；根据图像匹配数据确定参考图像的备选区域；在备选区域中提取定位核区域，包括：对备选区域进行特征提取，生成特征点的集合；根据特征...

本申请公开了一种缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质，属于视觉检测技术领域，其中，缺陷检测方法，包括：获取待检测多高度面中每个高度面的基准屈光度值；对于每个高度面，均以该高度面对应的基准屈光度值确定目标屈光度值；基于每个高度面的目标屈...

本实用新型涉及一种整平装置及测量载具，测量载具包括承载台及设于承载台边缘的整平装置。整平装置包括升降机构、翻转机构及转动板。转动板可先在翻转机构带动下切换至第二状态，并在升降机构的带动下下降至承载台的承载面下方，以空出承载台上方的空间。...

本发明公开了一种图像处理方法、装置及图像处理系统。其中，该方法包括：获取目标样品对应的干涉图像，其中，干涉图像由参考光束和由目标样品表面反射的测量光束干涉形成；对干涉图像进行三维形貌重构，得到目标样品的三维轮廓图像；对干涉图像进行数字图...