图像处理方法、装置及图像处理系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种图像处理方法、装置及图像处理系统。其中，该方法包括：获取目标样品对应的干涉图像，其中，干涉图像由参考光束和由目标样品表面反射的测量光束干涉形成；对干涉图像进行三维形貌重构，得到目标样品的三维轮廓图像；对干涉图像进行数字图像处理，得到目标样品的二维特征信息；将二维特征信息与三维轮廓图像融合，得到包含目标样品的特征信息的三维形貌图像。通过本申请，解决了干涉仪在3D轮廓中无法体现二维(2D)图像中特征信息的问题。比如表面有多种材料而高度上没有明显区分的样品，在伪彩色3D形貌数据上无边界信息，而2D数据因反射率和/或颜色上有明显差异很容易识别出边界信号。识别出边界信号。识别出边界信号。

【技术实现步骤摘要】
图像处理方法、装置及图像处理系统


[0001]本专利技术涉及光学检测领域，具体而言，涉及一种图像处理方法、装置及图像处理系统。

技术介绍

[0002]目前，对于待测样品表面形貌的采集，可以采用白光干涉轮廓测量技术进行被测样品的三维(3D)轮廓的图像处理，从而实现对被测样品的轮廓测量。然而，二维(2D)图像中可以表现的一些特征信息在3D轮廓中无法体现。比如表面有多种材料而高度上没有明显区分的样品，在伪彩色3D形貌数据上无边界信息，而2D数据因反射率和/或颜色上有明显差异很容易识别出边界信号。
[0003]针对上述问题，现有技术中通常在一个干涉测量系统中同时使用干涉物镜和普通物镜，以分别测量待测样品的三维轮廓图像和二维特征图像。然而，由于测量中需要将干涉物镜和普通物镜进行切换，从而易造成三维轮廓图像与二维特征图像之间尺寸不匹配的现象。为了避免干涉物镜与普通物镜之间的切换，也有人通过在光学系统中分离成像光路，从而使用另一个信号采集装置来捕捉成像信息，但这不仅会增加成本，而且增加了光学系统的不稳定性。
[0004]基于此，如何对样品表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：获取目标样品对应的干涉图像，其中，所述干涉图像由参考光束和由所述目标样品表面反射的测量光束干涉形成；对所述干涉图像进行三维形貌重构，得到所述目标样品的三维轮廓图像；对所述干涉图像进行数字图像处理，得到所述目标样品的二维特征信息；将所述二维特征信息与所述三维轮廓图像融合，得到包含所述目标样品的特征信息的三维形貌图像。2.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述获取与目标样品对应的干涉图像，包括：输出控制指令至三维干涉轮廓测量系统，使得所述三维干涉轮廓测量系统对所述目标样品进行扫描测量和图像处理，以得到所述干涉图像；所述扫描测量方法包括相移干涉法或垂直扫描干涉法；获取所述三维干涉轮廓测量系统输出的所述干涉图像。3.根据权利要求2所述的图像处理方法，其特征在于，在所述三维干涉轮廓测量系统采用黑白相机进行图像处理的情况下，获取的所述干涉图像为单色干涉图像；在所述三维干涉轮廓测量系统采用彩色相机进行图像处理的情况下，获取的所述干涉图像为彩色干涉图像。4.根据权利要求3所述的图像处理方法，其特征在于，在获取的所述干涉图像为彩色干涉图像的情况下，所述对所述干涉图像进行三维形貌重构，得到所述目标样品的三维轮廓图像，包括：提取所述彩色干涉图像的彩色干涉数据；将所述彩色干涉数据转换为灰度数据；对所述灰度数据进行三维形貌重构运算，得到所述三维轮廓图像。5.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述干涉图像包括多个不同样品高度下的原始干涉图像，多个所述原始干涉图像中至少包括所述特征信息所处的样品高度下的原始干涉图像。6.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述特征信息至少包括以下之一：边界信息、色彩信息和缺陷信息。7.根据权利要求1至6中任一项所述的图像处理方法，其特征在于，所述将所述二维特征信息与所述三维轮廓图像融合，得到包含所述目标样品的特征信息的三维形貌图像，包括：根据所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏勇，孙焱群，
申请(专利权)人：长川科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：