本发明公开了一种高纯度无机化合物二氯硅烷(SiH

本发明公开了一种高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其中，残气回收步骤依序包括有：钢瓶外观检查、残气重量检测、残气回收配管作业、气密测试、填充安定气体、残气回收、真空处理、填封钢瓶、管路后处理及钢瓶移至待充填区，二氯硅烷填充...

本发明公开了一种高纯度无机化合物二氯硅烷(SiH

本实用新型公开了一种立型可填充的二氯硅烷容器，其包括有：一容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部、一圆弧底部及一圆弧顶部，该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳，一座板对称开设有两堆高机插设孔，且该座板以四支撑杆固定于该容器本体而形成有呈开放状的一...