一种化学加工方法，包括：使基板材料从第一传输输送装置经过流体贮存器传递到第二传输输送装置，使得基板的第一表面与贮存器内的流体相接触，并使得基板的第二表面大体上不与贮存器内的流体相接触，并且第一和第二传输输送装置大体上位于贮存器的外部。