本发明涉及一种超临界流体超声制造超细微粒的方法及用于实施该方法的设备。为解决现有方法所制造的微粒粒径大，粒径分布范围宽的问题，其包括ＲＥＳＳ即快速膨胀超临界溶液法、ＧＡＳ即气体反萃取法或ＳＡＳ即超临界反萃取法，其造粒步骤用低频率的超声波...