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北京微纳捷通经贸有限公司专利技术
北京微纳捷通经贸有限公司共有1项专利
烷类气体的净化设备的研制制造技术
本发明涉及在镓-铟合金中加入某种特殊活性物质,该活性物质对砷烷、磷烷、硅烷和硼烷等多种特气中有害痕量杂质氧、水和二氧化碳等具有强烈的“吸附”,而对主体的砷烷、磷烷、硅烷和硼烷等多种特气无任何化学反应。以该活性物质为主要手段,配合其他吸附...
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