本申请实施例提供激光器的高压脉冲电源的电压测量电路，包括与高压脉冲电源的电压输出接口依次连接的前置变换电路、采样电路、控制电路以及通信电路；前置变换电路、采样电路以及控制电路共享偏置电路，以提供相同参考电压位；前置变换电路，用于基于参考...

本技术提供了一种准分子激光器电极间距测量装置，测量装置包括：主体、游标卡尺、第一测量探针、第二测量探针、第一延长杆和第二延长杆；所述第一测量探针和第二测量探针分别固定设置在所述第一延长杆和第二延长杆的一端；所述第一延长杆和第二延长杆的另...

本技术涉及测试可饱和脉冲升压变压器的装置，属于准分子激光器技术领域。所述装置包括：相互连接的高压电容和电源；所述高压电容并联在可饱和脉冲升压变压器的初级线侧；所述高压电容与电源之间设置有第一受控开关；所述变压器与高压电容之间设置有第二受...

本发明提供了一种叶轮动平衡反馈结构及激光器，叶轮动平衡反馈结构，其特征在于，包括：贯流风机本体、叶轮、主轴和配重组件；配重组件的两端分别与所述主轴和叶轮连接，随着所述主轴和叶轮同步转动；配重组件包括压电陶瓷和配重块，配重块一端抵靠在所述...

本发明提供了一种复合电极结构及其应用的准分子激光器，复合电极结构包括电极基带、辅助带和电极定位板；辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内，本发明通过更改电极材料成分及内部结构，改变电极结构不同位置的散热能力，实现放电过程中放...

一种激光参数集成测量装置，包括：第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜以及光束质量分析仪；光束经第一分光镜反射后依次通过第二分光镜和第三分光镜，经第二和第三分光镜反射后的光束分别传输至光束质量分析仪；在第二分光镜...

本发明提供了一种棱镜调平机构及其窄带化模块、气体激光器，棱镜调平机构包括底座、安装平台、柔性连接件、弹性件和调节螺钉；柔性连接件由柔性材料制成，柔性连接件两端分别与所述底座和所述安装平台固定连接，所述安装平台通过柔性连接件可上下和左右摆...

本申请公开了一种深紫外激光光束质量测量系统，采用激光光束反射元件组的工作表面进行反射衰减，不采用透射式光学元件，减少由于光学元件材料对深紫外光的吸收导致测量的不准确。另外，在图像传感器使用过程中，通过控制处理装置根据接收的光斑图像数据调...

本发明提供了一种预电离结构及准分子激光器，预电离结构包括放电腔内设置的电极和预电离绝缘介质管；在电极的长度方向上，预电离绝缘介质管和电极之间的间距变化设置。本发明在电极长度方向上，预电离绝缘介质管与电极间距不等，或呈一定规律变化或不规律...

本申请提供一种光学元件支架及其安装方法。该光学元件支架包括：固定座、光学元件安装架以及加热组件；固定座包括：基座和安装槽，基座的底面与光学设备基板匹配安装，安装槽为从基座顶面向上延伸并具有容纳光学安装架定位柱的容纳空间，且容纳空间放入定...

本申请实施例提供一种监测激光器放电腔内氟气含量的方法。在本申请实施例中，向对应放电腔内供应不同预置含量的氟气；在供应同一预置含量氟气的情况下，对对应放电腔内的所需电压进行测量，所需电压用于使得放电腔进行放电；根据供应不同预置含量的氟气以...

本发明涉及电极陶瓷基座及准分子激光器和减弱激波的方法,本发明通过在陶瓷基板上设置一个或多个激波减弱结构，并通过将激波减弱结构设置为由多个凹槽和多个绝缘条交替设置的结构，和通过将多个所述绝缘条之间的高度设置为不同；和/或，多个绝缘条的结构...

本发明提供了一种反射镜调谐结构，其包括调节座、镜座、反射镜，以及若干组调节螺钉和半球垫；所述反射镜固定在所述镜座上；所述调节座的正面上设置若干个与所述半球垫适配的球形槽；所述球形槽的底部设置有连通调节座两侧的过孔；所述调节螺钉的顶部依次...

本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种激光晶体沉浸式散热装置，包括沉浸式热沉，半导体制冷器和散热器；所述沉浸式热沉内设置有液态的沉浸工质；待冷却的激光晶体设置在所述沉浸工质内；所述半导体制冷器包括制冷端与放热端；所述制冷端与所述沉浸式...

本申请实施例提供测量磁脉冲压缩单元温度的检测装置。该装置用于对激光电源中的磁脉冲压缩单元进行温度测量，激光电源用于对激光器进行充电，磁脉冲压缩单元包括磁脉冲压缩部件，磁脉冲压缩部件用于容纳绝缘油，且绝缘油充满磁脉冲压缩部件，该装置包括：...

本发明涉及准分子激光器高精度单脉冲能量测量装置，同时涉及准分子激光器高精度单脉冲能量测量方法，属于准分子激光技术领域。所述装置，包括：转换电路，用于将单脉冲光信号转换为电压信号；峰值保持电路，用于对所述电压信号的峰值进行保持，并输出保持...

本申请涉及准分子激光器技术领域，本申请提供了一种金属密封圈结构，包括第一半环，第二半环和连接部；连接部将第一半环与第二半环相连；第一半环设置在第一零件的第一密封槽内；第二半环设置在第二零件的第二密封槽内。本申请还公开了一种包括金属密封圈...

本申请实施例提供一种激光器的电源模块的电信号采集方法及电源模块。电源模块包括主电路以及监控电路，主电路与监控电路通过转换器件连接，电源模块运行时，主电路用于输出对应的电信号，并通过转换器件进行预置数值的转换；该方法包括：根据转换器件输出...

本发明公开了一种单腔气体激光器补气方法、控制系统及准分子激光器。该控制方法包括以下步骤：根据多个实测的放电腔电压与预设的电压均值阈值的差值求得电压差值均值，在电压差值均值大于电压均值阈值的情况下，通过模糊PI控制调整PI参数，计算放电腔...

本发明公开了一种双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器。该控制方法包括以下步骤：根据多个实测的主振荡放电腔电压与预设的电压均值阈值的电压求得MO电压差值均值；在MO电压差值均值大于零的情况下，通过模糊PI控制调整PI参数，计算...