一种复合电极结构及其应用的准分子激光器制造技术

本发明专利技术提供了一种复合电极结构及其应用的准分子激光器，复合电极结构包括电极基带、辅助带和电极定位板；辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内，本发明专利技术通过更改电极材料成分及内部结构，改变电极结构不同位置的散热能力，实现放电过程中放电区电极表面电子通量、离子通量及电子温度等的改变，进而改善放电电场的不均匀性，减小电极整体的烧蚀差异，延长电极或放电腔室的使用寿命，同时可以提高准分子激光光源输出激光剂量稳定性及光束的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器，尤其是涉及一种复合电极结构及其应用的准分子激光器。

技术介绍

1、目前，在激光器放电腔室(如：arf准分子激光器放电腔室或krf准分子激光器放电腔室)中，含氟等离子体对金属存在严重腐蚀，腔室内放电电极通常为黄铜材料，在激光器使用过程中电极一直处于烧蚀消耗状态，尤其金属阳极，消耗速率相对较高。烧蚀将会造成阴阳极宽度及二者之间间隙增加，进而改变放电区粒子密度，影响激光能量有效输出。若放电区电场分布不均匀，则会加剧电极局部腐蚀损伤程度，最终导致剂量误差，影响腔体使用寿命。

2、目前商业常规电极结构，腔室内放电在电极整体轮廓上并不均匀，即电极整体烧蚀并不均匀，一般预电离管侧(即背风侧)烧蚀严重，电极端部烧蚀严重。这种烧蚀程度的不均性反馈出电极间放电电场的不均匀性，进一步可理解为放电区粒子分布的不均匀性或粒子温度梯度的不均匀性。

3、本专利通过更改电极结构设计，实现更改放电区电极不同位置粒子密度，即调整不同位置放电场强度，缩小电极整体腐蚀偏差，延长电极使用寿命。

技术实现思路

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种复合电极结构，其特征在于，包括：电极基带(10)和辅助带(30)；

2.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，所述辅助带(30)是由金属基陶瓷复合材料制成的条带。

7.一种复合电极结构，其特征在于，其包括：电极基带(10)、辅助带(30)和电极定位板；

8.根据权利要求7所述的复合电极...

【技术特征摘要】

1.一种复合电极结构，其特征在于，包括：电极基带(10)和辅助带(30)；

2.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的复合电极结构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜越，刘斌，黄春亮，邢英金，吴劲松，张寅虎，徐向宇，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：