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本发明提供了一种复合电极结构及其应用的准分子激光器，复合电极结构包括电极基带、辅助带和电极定位板；辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内，本发明通过更改电极材料成分及内部结构，改变电极结构不同位置的散热能力，实现放电过程中放电区...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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