一种组合式的可传送盒子，用于储存基片例如半导体切片、平板显示板和掩膜，还用于将上述基片保存在很清洁的环境中。基片采用许多梳状件（２０６，１９８）支承在盒子内，该梳状件彼此间隔开的保存基片。通过可转动的门组件（１１８）可以出入盒的内部。对...

本发明披露了一种ＳＭＩＦ装载通道装置，包括一通道门位置补偿装置，能够动态地调整通道门前表面与装载到该装载通道装置上的容器门的前表面之间的相对间距，从而补偿容器前表面的各种不正确定位。该位置补偿装置包括一可平移地安装在通道门上的插销，以及...

本发明涉及一种用于在隔离环境内、在多个室之间输送单个晶片的晶片输送系统。在一个实施例中，一个晶片由一个晶片穿梭件输送，晶片穿梭件在一个晶片输送容器内运行。晶片输送容器内部与晶片加工设备周围的大气环境相隔离。这样，单个晶片可以在整个晶片加...

本发明涉及一种用于传递晶片的晶片机。该晶片机包括用于沿ｘ轴移动晶片的线性驱动器、用于绕一θ轴转动晶片的旋转驱动器、用于沿ｚ轴移动晶片的线性驱动器、以及用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器。用于沿ｚ轴移动晶片的线性驱动器偏离于旋转驱动器。当...

本发明涉及一种一体化脊柱构件，ＥＦＥＭ组件例如晶片操纵机械手和ＳＭＩＦ箱推进部件可安装在该一体化脊柱构件上。机架包括多根安装在上支撑件和下支撑件上的直立支柱。使垂直支柱与两支撑件结构连接，从而生成一种支撑ＥＦＥＭ组件的刚性体。该直立支柱...

半导体材料处理系统是一种ＥＦＥＭ，可以安装到一个加工工具的前端，或者结合到加工工具中。ＥＦＥＭ由一个一体式构架构成，ＥＦＥＭ的部件、例如一个晶片机和一个ＳＭＩＦ箱前送板可以安装到一体构架上。所述构架作为一个共用安装构架，ＥＦＥＭ的部件可...

本发明涉及一种用于传递晶片的晶片机。该晶片机包括用于沿ｘ轴移动晶片的线性驱动器、用于绕一θ轴转动晶片的旋转驱动器、用于沿ｚ轴移动晶片的线性驱动器、以及用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器。用于沿ｚ轴移动晶片的线性驱动器偏离于旋转驱动器。当...

本发明涉及一种一体化脊柱构件，ＥＦＥＭ组件例如晶片操纵机械手和ＳＭＩＦ箱推进部件可安装在该一体化脊柱构件上。机架包括多根安装在上支撑件和下支撑件上的直立支柱。使垂直支柱与两支撑件结构连接，从而生成一种支撑ＥＦＥＭ组件的刚性体。该直立支柱...

本发明包括用于在整个制造工厂范围内移动半导体容器（２）的输送机（１００）。在一个实施例中，输送机包括多个独立控制的输送机区域（Ｚ）。每个输送机区域具有第一皮带（１１０）、第二皮带（１１２）、以及用于使第一和第二皮带以基本上相同的速度转动...

一种用于在悬挂式输送系统和地面输送系统之间储存并输送容器的设备，包括：　　　　多个竖向叠置的储货架，每个所述竖向叠置的储货架具有第一末端和第二末端并且就一个共同的竖直平面而言与直接位于最高储货架上方的悬挂式输送系统部分基本上水平对齐；　...

本发明提供了一种用于运送物品的运输系统。运输系统包括一个具有一引导机的传送机系统。本发明还提供了一种沿传送机运送物品和引导物品行进的方法。传送机系统包括一个驱动轨道和一个支撑运输架的支撑轨道。一个用于引导运输架的引导机组件沿传送机系统定位。

本发明公开了一种用于在一输送机（１４）和一工作站（１６）之间移动物品（１２）的输送装置（１０）和方法（图１６）。该输送装置（１０）包括：一个升降装置（６０），该升降装置包括一个提升装置（６４），该提升装置能够与被输送机（１４）所运送的物...

本发明涉及一种输送系统（１０），用于在输送机（１４）和工作站（１６）之间移动一个或多个物品（１２）。该系统（１０）包括一输送装置（１０），该输送装置设置有一升降机构（６２），该升降机构能够与被输送机（１４）运送的物品（１２）相接合，将物...

一种一体式的隔舱内部运送、存放及输送装置（１８）用于在输送机和一个象工作站这样的站点之间移动物品。该装置（１８）包括一个输送部件，该输送部件包括一个升降机构和一个位移机构。该输送装置在输送机和用存放物品的缓冲或存放站之间运送物品。一个输...

本申请提供了一种化学蒸汽淀积设备，用于在晶片或衬底上淀积厚度基本上均匀的膜或层。所述装置包括具有注入器装置的室，所述注入器装置包括隔开的直线注入器，和化学蒸汽注入系统，用于对注入器交付化学蒸汽，从而形成隔开的相邻的淀积区。传送装置往返地...

本发明涉及用于输送物品的系统。输送系统包括一个运输系统，运输系统包括：一用于在工作站之间支承至少一个物品的运输装置；一用于支撑所述运输装置的驱动导轨，所述驱动导轨包括一个用于在工作站之间推进所述运输装置的驱动系统；一个平行并与所述驱动导...

本发明公开了一种前开口接口机械标准或“ＦＩＭＳ”系统，用来确保容器门（２２）相对于负载通道组件上的通道门（２６）正确对准而无须在通道门（２６）上使用导销。在一个优选实施方案中，该负载通道组件包括活动销（２７Ａ，２７Ｂ），它们设置成配合在...

本发明涉及一种具有缓冲性能的边缘校准器（１００）以及用于增加晶片通过装置的处理量的方法。根据一个实施例，本发明有第一和第二缓冲器臂（１０６ａ、１０６ｂ）以及夹头臂（１０４）。工件可以在支承于夹头臂（１０４）上时对齐。当工件对齐后，夹头臂...

一个用于基片载运器的基片准直器，这个载运器包括一个构架，以相互分开的位置关系接受和支持多个基片，所述基片准直器包括： 一个安装在枢架上的衔接装置，在所述衔接装置被移动到关闭位置时衔接和移动多个基片到一个基本对准的位置上，并且在它被...