APS公司专利技术

APS公司共有1项专利

  • 一种掩模组件,其用于薄膜工艺,其可以包括:金属片,其包括网格形状的框架区域以及多个开口形成区域,所述开口形成区域布置于网格内部且每一个中形成多个开口部;以及掩模框架,其设置为与所述金属片两端的所述框架区域对应,其中,所述框架区域的厚度大...
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