一种氮化硅粉末的制备系统，包括上料装置、加热装置和反应装置，所述上料装置包括上料管，在上料管上设置有进料斗；所述加热装置包括加热腔，在加热腔内壁上设置有多个加热源，在加热腔中心设置有输料盘管，所述输料盘管与上料管连通；所述反应装置包括外...

本实用新型公开了一种气氛烧结炉用周转架，所述烧结炉包括炉壳，在炉壳内底部设置有下轨道，在内轨道上放置有炉芯，在炉芯内底部设置有上轨道，其特征在于：所述周转架上包括固定设置的外轨道，在所述外轨道的内侧设置有可升降的内轨道，所述外轨道与炉壳...

本实用新型公开了一种硅粉进料装置，包括至少一辆输运车，所述输运车包括支撑板，在支撑板下方设置有车轮，在支撑板上方周围设置有加强圈，所述支撑板和加强圈采用一体化结构成型，在运输车的两端分别设置有连接孔，连接孔在竖直方向贯穿加强圈和支撑板，...

一种双向气氛氮化硅烧结炉，包括上气路系统和下气路系统，所述上气路系统包括上布气管、上进气管、上排气管，上布气管设置在炉芯的顶壁下方，上进气管穿过炉壳和炉芯与上布气管连通，上排气管设置在炉壳外面并与上进气管连通，在上进气管的入口处设置有第...

一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳，在炉壳的一端设置有炉门，在所述炉壳底部设置有内轨道，在内轨道上放置有炉芯，在炉芯的一端设置有炉芯门，在炉芯底部固定连接有滚轮，所述滚轮可沿着内轨道移动；在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱，在...

一种氮化硅生产用气体提纯装置，包括氮化硅生产提纯用加热罐，加热罐储气层连通降温罐，降温罐连通储气罐，储气罐连通干燥装置处设有第一气泵，干燥装置包括一端连接加热罐加热层的连接管，连接管另一端第一干燥罐，第一干燥罐上设有第一空腔，连接管连通...

高α相氮化硅粉体的生产方法，包括以下步骤：A：将硅粉研磨粉碎至D90为6μm；B：将研磨好的硅粉装入匣钵中，装料厚度在15

一种高α相氮化硅粉体的生产工艺，包括以下步骤：A：将硅粉研磨粉碎至D90为6μm；B：将研磨好的硅粉装入匣钵中，装料厚度在15