一种便于检修的氮化硅烧结炉制造技术

一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳，在炉壳的一端设置有炉门，在所述炉壳底部设置有内轨道，在内轨道上放置有炉芯，在炉芯的一端设置有炉芯门，在炉芯底部固定连接有滚轮，所述滚轮可沿着内轨道移动；在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱，在炉芯内设置有布气管，布气管的进气端靠近炉芯门，所述进气管与布气管通过气体接头可拆卸连接；在所述炉芯上设置有多套加热模块，加热模块与炉芯为可拆卸连接，在加热模块内设置有硅钼棒，所述硅钼棒与接线箱通过接线柱可拆卸连接。本专利可方便对烧结炉进行检修维护。方便对烧结炉进行检修维护。方便对烧结炉进行检修维护。

【技术实现步骤摘要】
一种便于检修的氮化硅烧结炉


[0001]本技术具体涉及一种便于检修的氮化硅烧结炉，属于氮化硅烧结炉


技术介绍

[0002]氮化硅粉体的制备通常采用硅粉氮化法，其基本原理是硅粉和氮气、氨气等含氮气体在烧结炉内在高温下进行反应生成氮化硅，其操作的工艺流程主要包括：向烧结炉中装填硅粉，抽真空，向烧结炉中通入含氮反应气体，逐步加热升温到1300摄氏度左右，保温一定时间发生氮化反应，降温冷却即得氮化硅板块，然后粉碎至一定粒度即得到氮化硅粉体。由于反应原料为粉体，且反应过程需要频繁的抽真空和通气、排气，烧结炉内部存在较频繁的气体流动，炉内充满着粉尘，粉尘弥散严重，而烧结炉的加热依靠的硅钼棒电阻丝等，电阻丝有一定的使用寿命，因此需要对烧结炉内部进行定期维护检修、清扫粉尘、更换电阻丝等。现有的烧结炉结构中，炉膛和炉壳固定连接在一起，每次检修清扫都需要人钻进去，非常不便于操作，检修工作效率低下。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的问题，本技术提供一种便于检修的氮化硅烧结炉，目的在于解决现有烧结炉检修不方便的问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳，在炉壳的一端设置有炉门，其特征在于：在所述炉壳底部设置有内导轨，在内导轨上放置有炉芯，在炉芯的一端设置有炉芯门，在炉芯底部固定连接有滚轮，所述滚轮可沿着内导轨移动；在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱，在炉芯内设置有布气管，布气管的进气端靠近炉芯门，所述进气管与布气管通过气体接头可拆卸连接；在所述炉芯上设置有多套加热模块，加热模块与炉芯为可拆卸连接，在加热模块内设置有硅钼棒，所述硅钼棒与接线箱通过接线柱可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种便于检修的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述炉壳为双层结...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏静豪，王运宝，
申请(专利权)人：安阳亨利高科实业有限公司，
类型：新型
国别省市：