下载一种便于检修的氮化硅烧结炉的技术资料

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一种便于检修的氮化硅烧结炉,包括炉壳,在炉壳的一端设置有炉门,在所述炉壳底部设置有内轨道,在内轨道上放置有炉芯,在炉芯的一端设置有炉芯门,在炉芯底部固定连接有滚轮,所述滚轮可沿着内轨道移动;在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱,在炉芯...
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