本技术公开了一种悬置内埋式陶瓷基敏感器件。所述悬置内埋式陶瓷基敏感器件包括层叠设置的陶瓷衬底及敏感结构；陶瓷衬底包括框架、中心块及悬臂，框架环绕中心块设置，悬臂两端分别固定连接框架和中心块；敏感材料设置于中心块的表面，陶瓷衬底的内部设置...

本技术公开了一种陶瓷悬置式低功耗敏感器件。所述陶瓷悬置式低功耗敏感器件包括沿指定方向层叠设置的陶瓷基底、电热结构、绝缘导热层以及敏感结构；陶瓷基底至少由陶瓷粉料或陶瓷浆料形成，成型孔隙率为10‑60％，包括架体、悬臂梁以及悬置结构；电热...

本实用新型公开了一种三维封装结构的气体传感器

本发明公开了一种陶瓷悬置式低功耗敏感器件及其制备方法

本发明公开了一种悬置内埋式陶瓷基敏感器件及其制备方法。所述悬置内埋式陶瓷基敏感器件包括层叠设置的陶瓷衬底及敏感结构；陶瓷衬底包括框架、中心块及悬臂，框架环绕中心块设置，悬臂两端分别固定连接框架和中心块；敏感材料设置于中心块的表面，陶瓷衬...

本实用新型公开了一种微型半导体气敏传感器，其包括敏感测试结构以及封装结构，该封装结构包括遮光透气盖板，遮光透气盖板与敏感测试结构密封结合形成一气体腔室，敏感测试结构包括玻璃基底以及依次叠层设置在玻璃基底第一面上的加热层、绝缘层以及气体敏...

本实用新型公开了一种柔性气体传感设备，其包括柔性敏感测试单元以及柔性封装单元，所述柔性封装单元包括具有透明窗口的柔性盖板，所述柔性盖板与所述柔性敏感测试单元密封结合形成一封装腔室，封装腔室与设置在柔性盖板上的至少一个气孔连通；柔性敏感测...

本实用新型公开了一种微型集成式气体传感器，其包括相对设置的加热单元和气体敏感单元，其中，所述气体敏感单元包括测试电极和气体敏感结构，所述气体敏感结构直接形成在所述测试电极上；所述加热单元包括与所述测试电极相匹配的加热层，所述加热层朝向所...

本实用新型公开了一种集成式微型振动传感器，其包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体。本实用新型提供的集成式微型振动传感器结构简单、...

本发明公开了一种全柔性可加热式气体传感器及其制作方法。该全柔性可加热式气体传感器包括柔性敏感测试结构以及柔性封装结构，所述柔性封装结构包括柔性盖板，所述柔性盖板与所述柔性敏感测试结构密封结合形成一封装腔室，封装腔室与设置在柔性盖板上的至...

本发明公开了一种基于玻璃基底的MEMS半导体式气体传感器及其制作方法。该MEMS半导体式气体传感器包括敏感测试结构以及封装结构，该封装结构包括透气盖板，透气盖板与敏感测试结构密封结合形成一气体腔室，敏感测试结构包括玻璃基底以及依次叠层设...

本发明公开了一种基于MEMS集成式的气体传感器及其制作方法。该气体传感器包括相对设置的加热单元和气体敏感单元，其中，所述气体敏感单元包括测试电极和气体敏感结构，所述气体敏感结构与所述测试电极电连接；所述加热单元包括与所述测试电极相匹配的...

本发明公开了一种柔性电容式振动传感器及其制作方法。该柔性电容式振动传感器包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体。本发明实施例提供的...