【技术实现步骤摘要】
柔性电容式振动传感器及其制作方法
本专利技术涉及一种振动传感器，特别涉及一种柔性电容式振动传感器及其制作方法，属于柔性电子器件
技术介绍
高度发展的现代工业中，现代测试技术向数字化、信息化方向发展已成必然发展趋势，而测试系统的最前端是传感器，它是整个测试系统的灵魂，被世界各国列为尖端技术，特别是近几年快速发展的IC技术和计算机技术，为传感器的发展提供了良好与可靠的科学技术基础。使传感器的发展日新月益，且数字化、多功能与智能化是现代传感器发展的重要特征。振动传感器是一种目前广泛应用的报警检测传感器，传统的振动传感器是通过内部的压电陶瓷片加弹簧重锤结构感受机械运动振动的参量(如振动速度、频率、加速度等)，并转换成可用输出信号，然后经过放大器等运放放大并输出控制信号。振动传感器可用于机械中的振动和位移、转子与机壳的热膨胀量的长期监测；生产线的在线自动检测和自动控制；科学研究中的多种微小距离和微小运动的测量等。振动传感器在测试技术中是关键部件之一，它具有成本低、灵敏度高、工作稳定可靠，振动检测可调节范围大的...
【技术保护点】
1.一种柔性电容式振动传感器，其特征在于包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体，/n所述第一振动敏感单元包括第一振动敏感结构，所述第一振动敏感结构包括间隔设置的第一电容极板和第二电容极板以及设置在第一电容极板和第二电容极板之间的第一介质材料层，所述第一电容极板和第二电容极板之间能够产生第一电容信号；/n所述第二振动敏感单元包括第二振动敏感结构，所述第二振动敏感结构包括间隔设置的第三电容极板、第四电容极板以及设置在第三电容极板和第四电容极板之间的第二介质材料层，所述第三电...
【技术特征摘要】
1.一种柔性电容式振动传感器，其特征在于包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体，
所述第一振动敏感单元包括第一振动敏感结构，所述第一振动敏感结构包括间隔设置的第一电容极板和第二电容极板以及设置在第一电容极板和第二电容极板之间的第一介质材料层，所述第一电容极板和第二电容极板之间能够产生第一电容信号；
所述第二振动敏感单元包括第二振动敏感结构，所述第二振动敏感结构包括间隔设置的第三电容极板、第四电容极板以及设置在第三电容极板和第四电容极板之间的第二介质材料层，所述第三电容极板和第四电容极板之间能够产生第二电容信号。
2.根据权利要求1所述柔性电容式振动传感器，其特征在于：所述第一介质材料层和第二介质材料层均包括空气介质。
3.根据权利要求2所述柔性电容式振动传感器，其特征在于：所述第一振动敏感单元还包括第一基底，所述第二振动敏感单元还包括第二基底，所述隔离层设置在所述第一基底和第二基底之间并与所述第一基底和第二基底封装结合成一体；所述第一振动敏感结构被封装于所述第一基底与所述隔离层之间；所述第二振动敏感单元还包括第二基底，所述第二振动敏感结构被封装于所述第二基底与所述隔离层之间。
4.根据权利要求3所述柔性电容式振动传感器，其特征在于：所述第一基底的第一面设置有第一收容槽，所述第一电容极板、第二电容极板间隔设置在所述第一收容槽内，进而在所述第一电容极板和第二电容极板之间围合形成第一空腔，所述第一空腔中填充有空气介质；所述第二基底的第三面设置有第二收容槽，所述第三电容极板、第四电容极板间隔设置在所述第二收容槽内，进而在所述第三电容极板和第四电容极板之间围合形成第二空腔，所述第二空腔中填充有空气介质。
5.根据权利要求4所述柔性电容式振动传感器，其特征在于：所述第一基底的第二面还设置有第一电极和第二电极，所述第一电极与所述第一电容极板电连接，所述第二电极与所述第二电容极板电连接；所述第二基底的第第四面还设置有第三电极和第四电极，所述第三电极与所述第三电容极板电连接，所述第四电极与所述第四电容极板电连接，其中，所述第一面与第二面背对设置，所述第三面与第四面背对设置。
6.根据权利要求5所述柔性电容式振动传感器，其特征在于：所述第一电容极板、第二电容极板、第三电容极板、第四电容极板的材质包括金属或导电聚合物；优选的，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞，
申请(专利权)人：安徽芯淮电子有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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