陶瓷悬置式低功耗敏感器件及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种陶瓷悬置式低功耗敏感器件及其制备方法

【技术实现步骤摘要】
陶瓷悬置式低功耗敏感器件及其制备方法


[0001]本专利技术涉及敏感器件
，尤其涉及一种陶瓷悬置式低功耗敏感器件及其制备方法
。

技术介绍

[0002]敏感器件包含的种类多种多样，例如温度敏感器件
、
气体敏感器件以及光电敏感器件等等，其主要的原理是利用敏感材料对于环境变化的响应性，通过测试电路测量该敏感材料的一系列变化，例如电阻
、
电容或电压等，来反馈该敏感材料所感应到的物理量的变化
。
并且，在一些敏感器件中，为了测量准确性，需要对敏感材料进行加热以维持其处于适当的温度区间，这些加热的电路结构在使用过程中造成了一些功耗，在实际应用中，如何通过器件结构设计在保证加热效果的前提下降低功耗是具有非常重要的价值的
。
[0003]作为气体敏感器件的气体传感器广泛应用于检测可燃性气体
、
有毒
、
有害气体以及大气成分
。
目前随着器件集成化程度的提高，对气体传感器的要求也越来越高，其中以
MEMS
工艺为基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种陶瓷悬置式低功耗敏感器件，其特征在于，沿指定方向至少层叠设置有陶瓷基底
、
电热结构
、
绝缘导热层以及敏感结构；所述陶瓷基底至少由陶瓷粉料或陶瓷浆料形成，成型衬底为多孔结构；且所述陶瓷基底包括架体
、
悬臂梁以及悬置结构，所述架体环绕所述悬置结构设置且所述架体和悬置结构之间还具有间隔空间，所述悬臂梁设置于所述间隔空间中，用于连接所述架体和悬置结构；所述电热结构包括发热体，所述敏感结构包括敏感材料体，所述发热体和敏感材料体均设置于所述悬置结构沿所述指定方向进行投影所形成的投影区域中
。2.
根据权利要求1所述的陶瓷悬置式低功耗敏感器件，其特征在于，所述架体
、
悬臂梁以及悬置结构一体化设置
。3.
根据权利要求2所述的陶瓷悬置式低功耗敏感器件，其特征在于，在所述指定方向上，所述悬臂梁的厚度为所述悬置结构的厚度的
1/10
‑
3/4。4.
根据权利要求1或2所述的陶瓷悬置式低功耗敏感器件，其特征在于，所述陶瓷基底的孔径为5‑
500
μ m
，孔隙率为
10
‑
60
％
。5.
根据权利要求1或2所述的陶瓷悬置式低功耗敏感器件，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞，
申请(专利权)人：安徽芯淮电子有限公司，
类型：发明
国别省市：