下载柔性电容式振动传感器及其制作方法的技术资料

文档序号:23846930

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本发明公开了一种柔性电容式振动传感器及其制作方法。该柔性电容式振动传感器包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层,所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧,并经所述隔离层密封结合成一体。本发明实施例提供的一种...
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