本实用新型公开了基于蓝牙装置的MEMS传感器测试设备包括测试电路和气体容器，所述测试电路以及待测传感器均位于所述气体容器内，所述测试电路包括主控模块、对传感器进行加热的恒功率加热电路以及匹配电阻切换电路，所述主控模块的一个信号输出端口与...

本发明公开了一种使用模板法制备多孔复合集流体的方法及用其制备的多孔复合集流体与应用，属于集流体技术领域。该方法包括以下步骤：(1)前驱液的配置，(2)硅片预处理，(3)PI膜处理，(4)PS微球和乙醇混合液的配置，(5)硅片覆膜，(6)...

本发明公开了一种SnO2基甲烷气体传感器及其制备方法，制备方法包括：将聚乙烯吡咯烷酮、五水合四氯化锡、对苯二甲酸和溶剂混合均匀得到前驱溶液，转移至水热反应釜中进行反应，冷却至室温，将所得固体洗涤、干燥获得的干燥粉末分散在无水乙醇中搅拌，...

本发明公开了一种模板

本发明公开了一种锂电池复合多孔集流体铜箔及制备方法，制备方法包括将硝酸铜水溶液、聚苯乙烯粉末混合，加表面活性剂后搅拌，脱泡后与无水乙醇混匀得悬浊液；在单晶硅衬底上铺上一层无水乙醇或丙酮溶剂膜，注射悬浊液至无水乙醇或丙酮溶剂膜上；待单晶硅...

本实用新型提供一种用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，包括箱体，在所述箱体内固定有传送带，所述传送的输出端穿过箱体进入烘干炉内；箱体位于传送带的输入端的侧壁上开有操作窗口，用于将传感器半成品放置在输送带上；在所述输送带上方固定有点...

本实用新型提供一种新能源汽车动力电池，MEMS烟雾传感器、MEMS气体传感器、数据转化模块、标准数据存储模块、数据接口、主控芯片均固定在电池包内；MEMS烟雾传感器、MEMS气体传感器与数据转化模块通信连接，数据转化模块、标准数据存储模...

本实用新型提供一种用于MEMS气敏材料贵金属浸渍及紫外辐照的装置，包括箱体，在箱体内固定有紫外辐照灯、吸盘、加热盘、贵金属浆料注射器；在所述吸盘上放置加热盘，在加热盘上放置MEMS气体传感器半成品片，所述吸盘与外部负压设备连通；所述贵金...

本实用新型公开一种气体浓度检测装置，包括集气罐；在所述集气罐上开设有进气口和排气口，在进气口和/或排气口处安装有风扇；在所述集气罐内固定有气体浓度检测传感器；所述传感器固定在风路上。本实用新型所公开的检测装置，通过集气罐的设置，可实现先...

本发明公开二氧化碳气体传感器的制备方法，涉及气体传感器技术领域，本发明包括以下步骤：第一步是气敏材料的制备；第二步是将敏感材料膜涂覆至陶瓷管表面；第三步是将涂敷后陶瓷管器件置于马弗炉中进行煅烧退火；第四步是在退火后器件表面负载氧化石墨烯...

本实用新型涉及MEMS气体传感器技术领域，公开了一种用于MEMS气敏材料涂覆的微型移印装置，包括基座、凹版、待印样品、移动组件和转印组件，凹版上刻有待印刷图案并刷涂有敏感材料，凹版和待印样品均放置在基座上；移动组件驱动转印组件由凹版位置...

本实用新型公开一种作用于MEMS传感器的多功能老化装置，属于电子技术领域，包括通电老化电路、底座和气体容器，待老化传感器经底座与通电老化电路连接，底座和待老化传感器置于气体容器内。本实用新型通电老化电路经底座与待老化的传感器连接，用于对...

本发明公开一种VOCs传感器及其制备方法，属于微纳传感应用技术领域，包括中央控制系统、拉曼光谱仪和传感器，传感器的微热板晶圆包括光刻形成的MEMS传感器区域和空白印刷区域，MEMS传感器区域包括叉指电极、信号电极和加热电极，叉指电极的区...

本发明公开了一种动力电池检测用氢气MEMS传感器及其制备方法，制备方法包括：将四氯化锡、包含氯化钯的掺杂金属盐、去离子水混匀，加入固化剂和分散剂搅拌，升温静置后得到气敏材料浆液；将硅片上的电极利用光刻胶保护，利用狭缝式涂布机将浆液涂覆在...

本发明公开用于食品安全检测气敏材料的制备方法，涉及食品安全应用技术领域，包括以下步骤：(1)将KIT

本发明公开了一种贵金属改性MEMS一氧化碳气体传感器及其制备方法，制备方法包括：首先使用金属盐通过水热法制备得到两种半导体金属氧化物气敏材料粉料，分别与硅溶胶、聚酰胺树脂、二异丁基酮混匀得到浆料C和E；将贵金属源、硅溶胶、去离子水混匀得...

本发明公开了一种氯苯传感器及其制备方法，所述制备方法包括：以锌盐、纳米氧化铝、硝酸钯、羧甲基纤维素、去离子水为原料制备气敏材料粉料，研磨，砂磨，控制砂磨后浆料出料粒度D90＝300

本发明公开了一种SnO2基一氧化碳气体传感器及其制备方法，所述制备方法包括：以四氯化锡、硝酸镍、水、铂源为原料制备气敏材料前驱溶液；将玻璃片或硅片依次用乙醇和水清洗，烘干后在紫外和臭氧条件下处理；滴气敏材料前驱溶液至其表面，干燥后得到传...

本发明公开了一种一氧化碳传感器及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将热裂解法制备的贵金属纳米粒子在环己烷或甲苯中分散均匀得到贵金属纳米粒子溶液A；将反向微乳液法制备的氢氧化锡纳米粒子在环己烷或甲苯中分散均匀得到氢氧化锡纳米粒子溶液B...

本发明公开一种氮氧化物检测系统及其制备方法，属于微纳传感应用技术领域，包括半导体传感器、透明的基片和匹配电阻，半导体传感器和基片并联后一端与匹配电阻一端连接，所述半导体传感器和所述基片并联后的另一端接入信号电源正极，匹配电阻的另一端接入...