本实用新型专利技术提供一种用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，包括箱体，在所述箱体内固定有传送带，所述传送的输出端穿过箱体进入烘干炉内；箱体位于传送带的输入端的侧壁上开有操作窗口，用于将传感器半成品放置在输送带上；在所述输送带上方固定有点胶单元；所述点胶单元向输送带上的传感器半成品点胶。通过箱体内设置的传送带，可实现传感器覆膜与退火工序衔接紧密，简化工艺。简化工艺。简化工艺。
【技术实现步骤摘要】
用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置
[0001]本技术属于传感器微纳加工设备
，具体来说是一种用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置。
技术介绍
[0002]随着经济的快速发展，人们的生活水平有了很大提高，人们对于高质量生活环境的需求日益增加，但伴随经济发展的同时环境问题却越加严峻。如何高效监控和快速检测是解决环境问题的当务之急，因此，气体传感器受到了大家广泛关注。现阶段气体传感器应用在工业和生活的各个领域，随着物联网的高速发展以及国家的双碳政策，气体传感器面临着新一轮的增长需求。MOS传感器是一类利用气体分子与敏感材料接触后引发物理化学变化来表征测试气体的传感器，在市场中占有很大份额。将其和微机电技术(MEMS)进行整合从而诞生了MEMS半导体气体传感器。其具有结构微型化、成本低、智能化等优势，逐渐成为气体传感器发展的新方向。
[0003]对于MEMS半导体气体传感器敏感材料的涂覆方法有丝网印刷、PVD、CVD等方式。当前点胶涂覆逐渐开始在MEMS半导体气体传感器材料涂覆中进行运用，但其会存在敏感材料膜的厚度不均匀导致传感器性能不一致的问题及涂覆后敏感材料未及时退火，导致与基体粘接不牢固从发生脱落等缺陷。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题在于如何优化MEMS气敏材料覆膜和退火工艺，使得敏感材料不脱落。
[0005]本技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：
[0006]用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，包括箱体，在所述箱体内固定有传送带，所述传送的输出端穿过箱体进入烘干炉内；箱体位于传送带的输入端的侧壁上开有操作窗口，用于将传感器半成品放置在输送带上；在所述输送带上方固定有点胶单元；所述点胶单元向输送带上的传感器半成品点胶。通过箱体内设置的传送带，可实现传感器覆膜与退火工序衔接紧密，简化工艺，可保证敏感材料不脱落。
[0007]进一步的，所述点胶单元包括胶桶，所述胶桶的出料口通过三通管依次与挤胶器、供胶管道连通；所述供胶管道与点胶机连接；所述出料口处安装有第一单向阀；所述管道上安装有第二单向阀。
[0008]进一步的，所述挤胶器包括限位在三通管内的活塞，和驱动活塞往复运动的电机。
[0009]进一步的，所述供胶管道还经过超声装置。
[0010]进一步的，所述点胶机通过三轴电动滑轨固定在箱体顶壁。
[0011]进一步的，在所述点胶机的点胶头处还固定有高清摄像头；所述高清摄像头与外部显示器连接。
[0012]进一步的，所述点胶机还包括清洗臂，所述清洗臂转动装配在点胶机上，所述清洗
臂的前端固定有清洗海绵，清洗臂转动带动清洗海绵擦拭点胶头。
[0013]进一步的，在所述箱体侧壁上开有吹扫孔，底壁开有除尘孔，所述吹扫孔与吹扫设备连通，除尘孔通过管道与外部的集尘袋连通。
[0014]进一步的，所述胶桶包括A原料罐和B原料罐；所述A原料罐和B原料罐的顶部分别固定有第一电机，两个第一电机的输出端分别与A原料罐和B原料罐内的第一搅拌轴连接；所述A原料罐和B原料罐的底部分别通过第一管道与混料仓连通；所述混料仓内安装有第二搅拌轴，所述第二搅拌轴由第二电机带动转动；所述混料仓通过第二管道向MEMS气体传感器半成品片待注浆位置注浆。
[0015]进一步的，还包括控制器，所述控制器与所述第一电机、第二电机、挤胶器、点胶机通信连接。
[0016]本技术的优点在于：
[0017]通过箱体内设置的传送带，可实现传感器覆膜与退火工序衔接紧密，简化工艺。
[0018]挤胶器的设计，可保证具有一定粘稠度的胶水能够被送入供胶管道中。尤其是两个单向阀的设计，可保证胶水能够从混料仓中吸出。
[0019]三轴电动滑轨可实现点胶机的三维位置调节，适应性更广。配合摄像头，可从外部实施观察点胶情况，及时调整点胶量。
[0020]通过控制器控制挤胶器的挤胶流量，以及配合速度恒定的输送带输送传感器，使涂覆在传感器上的胶水均匀。挤胶完毕后使用清洗海绵擦拭点胶头，保证胶头不留残胶。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例中装置的整体结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例中胶桶及挤胶器的整体结构示意图。
具体实施方式
[0023]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]本技术公开一种用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，如图1所示，包括箱体，在箱体内固定有传送带7，传送的输出端穿过箱体进入烘干炉13内；箱体位于传送带7的输入端的侧壁上开有操作窗口10，用于将传感器半成品1放置在输送带上；在输送带上方固定有点胶单元；点胶单元向输送带上的传感器半成品1点胶。本实施例中，为了保障传感器半成品1在传送带7上的间距保持一致，从而保障点胶位置的精确，可在传送带7上设置限位槽，将传感器半成品1放置在限位槽内即可保证点胶位置的准确性。本实施例中的烘干炉13采用马弗炉。
[0025]本实施例中点胶单元包括胶桶5，如图2所示，胶桶5的出料口通过三通管依次与挤胶器51、供胶管道52连通；供胶管道52与点胶机2连接；出料口处安装有第一单向阀54；管道上安装有第二单向阀521。挤胶器51包括限位在三通管内的活塞511，和驱动活塞511往复运
动的第二电机512。两个单向阀的设计可保证在活塞抽出时从混料仓将胶水吸入管道中，且保证供胶管道中的胶不会吸回。供胶管道52还经过超声装置6，可以提高AB原料的混合均匀度。胶桶5包括A原料罐501和B原料罐502；A原料罐501和B原料罐502的顶部分别固定有第一电机503，两个第一电机503的输出端分别与A原料罐501和B原料罐502内的第一搅拌轴504连接；A原料罐501和B原料罐502的底部分别通过第一管道505与混料仓506连通；混料仓506内安装有第二搅拌轴507，第二搅拌轴507由电机(图中未示出)带动转动。
[0026]点胶机2通过三轴电动滑轨3固定在箱体顶壁，可在XYZ轴向调节。在点胶机2的点胶头处还固定有高清摄像头4；高清摄像头4与外部显示器连接。点胶机2还包括清洗臂12，清洗臂12转动装配在点胶机2上，清洗臂12的前端固定有清洗海绵，清洗臂12转动带动清洗海绵擦拭点胶头。清洗臂12的转动频率与点胶频率一致，既点一次胶，清洗臂12转动一次，带动海绵擦拭点胶头。清洗臂12的转动频率与点胶频率一致的控制技术为现有技术，在此不再详述。
[0027]本实施例为了保证箱体内的清洁，在箱体的侧壁上开有吹扫口8，底壁开有吸尘口9；吸尘口9与外部的负压设备连通。吹扫口8开设在箱体相对的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，其特征在于，包括箱体，在所述箱体内固定有传送带(7)，所述传送的输出端穿过箱体进入烘干炉(13)内；箱体位于传送带(7)的输入端的侧壁上开有操作窗口(10)，用于将传感器半成品(1)放置在输送带上；在所述输送带上方固定有点胶单元；所述点胶单元向输送带上的传感器半成品(1)点胶。2.根据权利要求1所述的用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，其特征在于，所述点胶单元包括胶桶(5)，所述胶桶(5)的出料口通过三通管依次与挤胶器(51)、供胶管道(52)连通；所述供胶管道(52)与点胶机(2)连接；所述出料口处安装有第一单向阀(54)；所述管道上安装有第二单向阀(521)。3.根据权利要求2所述的用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，其特征在于，所述挤胶器(51)包括限位在三通管内的活塞(511)，和驱动活塞(511)往复运动的第二电机(512)。4.根据权利要求2或3所述的用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，其特征在于，所述供胶管道(52)还经过超声装置(6)。5.根据权利要求2所述的用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，其特征在于，所述点胶机(2)通过三轴电动滑轨3固定在箱体顶壁。6.根据权利要求2所述的用于MEMS气敏材料自动覆膜和退火的装置，其特征在于，在所述点胶机(2)的点...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒯贇，李磊，沈光宇，
申请(专利权)人：安徽维纳物联科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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