【技术实现步骤摘要】
一种多电极组合式集成气体传感器
本专利技术属于传感器
,涉及到一种新型气体传感器。
技术介绍
气体传感器是用于检测一种或多种特定气体存在的传感设备,如检测一氧化碳、VOC气体等。其中,半导体气体传感器的原理是:采用半导体材料为传感材料,当气体分子被材料表面吸附后,材料载流子浓度发生变化,从而改变该材料的电导率。传统气体传感器一般由一对敏感电极和一对加热电极,这样一个气体传感器单元具有四个电极,例如,2012年9月5日公告的编号为CN202421118U的中国专利,揭示一种气体传感器芯片,含有4个电极。目前,为了在实际应用中提高气体传感器的稳定性和准确性,通常使用由多个气体传感器单元组成的气体传感器阵列,例如,2003年11月5日公告的编号为CN1453584A的中国专利,揭示了一种基于气体传感器阵列技术的食品气味快速无损检测方法及装置。该专利技术将多个传感器均匀交错布置在条状的反应室,形成传感器阵列,因此造成反应室较大,且连接的传感器阵列的电极数量较多。有鉴于此,提供一种能有效减小气体传感器阵列体积,同时能减少电极数量的集成气体传感器实为必要。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种集成多个敏感电极的气体传感器,解决了传感器阵列体积较大的问题,同时解决了传感器阵列的电极较多的问题。本专利技术的技术方案如下:一种多电极组合式集成气体传感器,包括:绝缘基底、形成于绝缘基底上的加热器及加热器电极、形成于绝缘基底上并以一定规则分布的N个敏感电极、形成于绝缘基底上的传感薄膜。其中,N大于2,不同敏感电极相互不接触,敏感电极与加热器不接触;传感薄膜 ...
【技术保护点】
一种多电极组合式集成气体传感器,包括:绝缘基底、形成于绝缘基底上的加热器及加热器电极、形成于绝缘基底上并以一定规则分布的N个敏感电极、形成于绝缘基底上的传感薄膜;其特征是N大于2,在N个敏感电极中,每次选择两个敏感电极作为传感器单元的信号输出,共有N(N?1)/2种选择,构成了含有N(N?1)/2个传感器单元的传感器阵列。
【技术特征摘要】
1.一种多电极组合式集成气体传感器,包括:绝缘基底、形成于绝缘基底上的加热器及加热器电极、形成于绝缘基底上并以一定规则分布的N个敏感电极、形成于绝缘基底上的传感薄膜;...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。