下载一种多电极组合式集成气体传感器的技术资料

文档序号:9764586

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种多电极组合式集成气体传感器,属于传感器技术领域。其包括:绝缘基底、形成于基底上的加热器及加热器电极、形成于基底上以一定规则分布的N个敏感电极、形成于基底上的传感薄膜。不同敏感电极相互不接触,敏感电极与加热器不接触。传感薄膜包含传感微粒,...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。