【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微型摩擦式能量采集器,其特征在于:包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极;底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化,摩擦材料通过化学气相沉积制备,底电极与摩擦材料接触并相互摩擦,上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张海霞,韩梦迪,孙旭明,刘雯,张晓升,孟博,
申请(专利权)人:北京大学,
类型:发明
国别省市:
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