【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高速精密运动平台的两级光栅定位方法，其特征在于，所述的高速精密运动平台的两级光栅定位方法包括以下步骤：由增量光栅提供位置反馈信号，控制电机进行初级位置进给；切换位置反馈信号；采用绝对光栅的位置反馈信号进行闭环控制。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高健，谭国成，姜永军，杨志军，吴小洪，陈新，刘冠峰，李泽湘，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：
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