微机械构件、其制造方法和用于运行微机械构件的方法技术

本发明专利技术涉及一种微机械构件，具有：一保持装置(10)；一驱动框架(12)，具有至少一个在驱动框架(12)上和/或内布置的能通电的线圈装置(16)，驱动框架通过至少一个框架弹簧(14)与保持装置(10)连接；一反射镜元件(20)，该反射镜元件悬挂在驱动框架(12)上，其中，反射镜元件(20)布置在两个反射镜弹簧(22a、22b)之间并且能绕反射镜转动轴线(24)相对所述驱动框架(12)调整，并且其中，反射镜元件(20)关于反射镜转动轴线(24)不对称地悬挂在驱动框架(12)上。本发明专利技术同样涉及用于微机械构件的一种制造方法。此外，本发明专利技术涉及用于运行微机械构件的方法。

【技术实现步骤摘要】
微机械构件、其制造方法和用于运行微机械构件的方法
本专利技术涉及一种微机械构件。本专利技术同样涉及用于微机械构件的制造方法。此外本专利技术涉及用于运行微机械构件的方法。
技术介绍
在DE102008001896A1中说明了一种微机械构件和用于微机械构件的一种制造方法。微机械构件的一实施方式包括一驱动框架，其通过两个框架弹簧与一保持装置连接并且在其上构造有一线圈装置。驱动框架框住一反射镜元件，该反射镜元件借助两个反射镜弹簧悬挂在驱动框架上。在此，反射镜元件布置在两个反射镜弹簧之间。
技术实现思路
本专利技术提供了一种微机械构件,具有：一保持装置；一驱动框架，具有至少一个在所述驱动框架上和/或内布置的、能通电的线圈装置，所述驱动框架通过至少一个框架弹簧与所述保持装置连接；一由所述驱动框架至少部分地框住的反射镜元件，所述反射镜元件借助第一反射镜弹簧和第二反射镜弹簧悬挂在所述驱动框架上，其中，所述反射镜元件布置在两个反射镜弹簧之间并且能绕反射镜转动轴线相对所述驱动框架调整，其中，所述反射镜元件关于所述反射镜转动轴线不对称地悬挂在所述驱动框架上,所述驱动框架借助两个关于框架弹簧对称轴线对称构造的框架弹簧悬挂在所述保持装置上，并且其中，所述反射镜转动轴线平行于所述框架弹簧对称轴线取向和/或位于所述框架弹簧对称轴线上。本专利技术提供了一种用于微机械构件的制造方法，具有如下步骤：借助至少一个框架弹簧在一保持装置上悬挂一驱动框架，所述驱动框架具有至少一个布置在所述驱动框架上和/或内的、能通电的线圈装置；将一反射镜元件借助第一反射镜弹簧和第二反射镜弹簧悬挂在所述驱动框架上，使得所述反射镜元件由所述驱动框架至少部分地框住并且布置在所述第一反射镜弹簧和所述第二反射镜弹簧之间；其中，所述反射镜元件关于反射镜转动轴线不对称地悬挂在所述驱动框架上，所述反射镜元件在所述微机械构件运行时借助所述驱动框架的驱动运动绕所述反射镜转动轴线相对所述驱动框架进行调整。本专利技术还提供了一种用于运行微机械构件的方法，所述微机械构件具有：一保持装置；一通过至少一个框架弹簧与所述保持装置连接的驱动框架；一由所述驱动框架至少部分地框住的、借助第一反射镜弹簧和第二反射镜弹簧悬挂在所述驱动框架上的反射镜元件，其中，所述反射镜元件布置在两个反射镜弹簧之间，并且其中，所述反射镜元件关于反射镜转动轴线不对称地悬挂在所述驱动框架上，具有如下步骤：通过把所述驱动框架置于具有至少一个垂直于所述反射镜转动轴线指向的运动分量的驱动运动中而把所述反射镜元件置于绕所述反射镜转动轴线指向的、相对所述驱动框架的转动运动中。在驱动框架上关于反射镜转动轴线非对称地悬挂反射镜元件即使在驱动框架直线指向运动的情况下引起到反射镜元件上的转矩。反射镜元件因此已经能够借助将驱动框架置于到直线指向的运动(直线运动)中而绕反射镜转动轴线移动。因为将驱动框架激励到直线运动中比将驱动框架置于到绕转动轴线的转动运动中更容易实施，所以本专利技术由此能够简单地实现具有可转动的反射镜元件的微机械构件。如在下面被更精确地实施的那样，反射镜元件能够尤其已经借助线性振动的驱动框架被置于绕反射镜转动轴线的共振的转动运动中。基于用于把驱动框架置于线性取向的驱动运动中的致动器装置的简单和低成本的可实现性，因此本专利技术导致需要很小结构空间的和低成本的微机械构件。尤其地，在该微机械构件的情况下可以取消装备需要耗费的电子装置的致动器装置。以有利的方式，反射镜元件作为借助两个反射镜弹簧悬挂在驱动框架上的总质量而具有与反射镜转动轴线间隔开的重心。所述反射镜元件关于反射镜转动轴线的不对称的悬挂因此可以理解为：反射镜元件如此悬挂，使得其质量分布关于反射镜转动轴线不对称。如在后面更精确实施的那样，反射镜元件关于反射镜转动轴线的有利的不对称质量分布能够简单地和低成本地实施。反射镜元件例如包括一盘形的反射镜板，该反射镜板带有在该反射镜板上布置的一附加质量。优选地，该附加质量布置在反射镜板的从反射镜板的光入射面离开指向的背侧面上，其中，该附加质量仅部分覆盖所述背侧面。因此，即使在反射镜板关于反射镜转动轴线对称的情况下保证反射镜元件的有利的不对称性。然而，所述附加质量的构造不限于这里所说明的例子。作为对此的替换，反射镜元件可以借助两个反射镜弹簧如此地关于反射镜转动轴线偏心地悬挂在驱动框架上，使得反射镜元件的一平行于反射镜转动轴线取向的反射镜中轴线和/或反射镜对称轴线与所述反射镜转动轴线间隔开。因此，在取消在反射镜元件上构造一附加质量的情况下也能够实现反射镜元件关于反射镜转动轴线的希望的不对称性。在一有利的实施方式中，所述至少一个框架弹簧是能S形弯曲的弯曲弹簧。该至少一个框架弹簧的这种构造使得将驱动框架激励到直线驱动运动/线性运动中变得容易。在另一有利的实施方式中，所述驱动框架的平行于反射镜转动轴线取向的框架中轴线和/或框架对称轴线与反射镜转动轴线间隔开。也可以把这改称为两个反射镜弹簧和由此悬挂的反射镜元件在驱动框架上的偏心的布置。借助所述两个反射镜弹簧和所述反射镜元件在所述驱动框架上的该偏心的布置，在驱动框架进行直线驱动运动的情况下能够加强施加到反射镜元件上的转矩。作为对此的替换，驱动框架能够借助两个关于框架弹簧对称轴线对称构造的框架弹簧悬挂在所述保持装置上，其中，反射镜转动轴线平行于框架弹簧对称轴线取向和/或位于框架弹簧对称轴线上。这可以改写为在驱动框架内的反射镜元件的经转动的悬挂。如在下面更精确实施的那样，因此，反射镜元件可绕其扭转的转动轴线的位置可以在该转动轴线的相对于驱动框架和/或保持装置的取向方面相对自由地确定。在一有利的实施方式中，保持装置、驱动框架、至少一个框架弹簧、第一反射镜弹簧、第二反射镜弹簧和反射镜元件分别至少有部分部件由一半导体衬底结构化出。因此，该微机械构件能够比较简单地以有利的小的尺寸制造。尤其地，为了制造微机械构件能够使用来自半导体技术的标准的方法步骤。在一有利的改进方案中，驱动框架、至少一个框架弹簧、第一反射镜弹簧、第二反射镜弹簧和反射镜元件可以借助至少一个第一覆盖板和一至少部分能透光的第二覆盖板包封。第一覆盖板和/或第二覆盖板可以直接或者通过一中间层紧固在所述保持装置上。尤其在框架形地构造保持装置的情况下，两个覆盖板中的每一个都可以分别直接或者间接紧固在保持装置的一位于内表面和外侧表面之间的上侧面或者下侧面上。因此，能够以简单的方式实现微机械构件的被包封的部件的可靠保护。此外，借助包封也能够在反射镜元件的空间环境中产生有利的低压，由此能够减小在调整反射镜元件时待克服的摩擦力。此外可以在第一覆盖板上布置一磁体，该磁体至少部分地由一U形弯曲的导出板(Ausleitblech)框住。如在下面更精确实施的那样，因此能够尤其在线圈装置的导线支路的空间区域内可靠地实现有利的强磁场。在上面的段落中说明的优点也在用于微机械构件的相应的制造方法中被保证。此外通过实施用于运行微机械构件的相应的方法可以实现所提到的优点。在此优选地，通过驱动框架被激励产生垂直于反射镜转动轴线指向的纯横向运动作为驱动运动，反射镜元件被置于绕反射镜转动轴线指向的、相对所述驱动框架的转动运动中。因为驱动框架的这种激励能容易地实施，因此可以以简单的方式和有目的地把反射镜元件置于希本文档来自技高网...

【技术保护点】
微机械构件，具有：一保持装置(10)；一驱动框架(12)，具有至少一个在所述驱动框架(12)上和/或内布置的、能通电的线圈装置(16)，所述驱动框架通过至少一个框架弹簧(14)与所述保持装置(10)连接；一由所述驱动框架(12)至少部分地框住的反射镜元件(20)，所述反射镜元件借助第一反射镜弹簧(22a)和第二反射镜弹簧(22b)悬挂在所述驱动框架(12)上，其中，所述反射镜元件(20)布置在两个反射镜弹簧(22a、22b)之间并且能绕反射镜转动轴线(24)相对所述驱动框架(12)调整，其特征在于，所述反射镜元件(20)关于所述反射镜转动轴线(24)不对称地悬挂在所述驱动框架(12)上。

【技术特征摘要】
2012.05.15 DE 102012208117.81.微机械构件，具有：一保持装置(10)；一驱动框架(12)，具有至少一个在所述驱动框架(12)上和/或内布置的、能通电的线圈装置(16)，所述驱动框架通过至少一个框架弹簧(14)与所述保持装置(10)连接；一由所述驱动框架(12)至少部分地框住的反射镜元件(20)，所述反射镜元件借助第一反射镜弹簧(22a)和第二反射镜弹簧(22b)悬挂在所述驱动框架(12)上，其中，所述反射镜元件(20)布置在两个反射镜弹簧(22a、22b)之间并且能绕反射镜转动轴线(24)相对所述驱动框架(12)调整，其中，所述反射镜元件(20)关于所述反射镜转动轴线(24)不对称地悬挂在所述驱动框架(12)上，其特征在于，所述反射镜元件借助将所述驱动框架置于到直线指向的运动中而绕所述反射镜转动轴线移动。2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述反射镜元件(20)作为借助所述两个反射镜弹簧(22a、22b)悬挂在所述驱动框架(12)上的总质量具有与所述反射镜转动轴线(24)间隔开的重心(S)。3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述反射镜元件(20)包括一盘形的反射镜板(28)，所述反射镜板带有布置在所述反射镜板(28)上的一附加质量(30)。4.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述反射镜元件(20)借助所述两个反射镜弹簧(22a、22b)关于所述反射镜转动轴线(24)偏心地悬挂在所述驱动框架(12)上，使得所述反射镜元件(20)的平行于所述反射镜转动轴线(24)取向的反射镜中轴线(52)和/或反射镜对称轴线与所述反射镜转动轴线(24)间隔开。5.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述至少一个框架弹簧(14)是能S形弯曲的弯曲弹簧(14)。6.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述驱动框架(12)的平行于所述反射镜转动轴线(24)取向的框架中轴线(50)和/或框架对称轴线与所述反射镜转动轴线(24)间隔开。7.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述驱动框架(12)借助两个关于框架弹簧对称轴线(40)对称构造的框架弹簧(14)悬挂在所述保持装置(10)上，并且其中，所述反射镜转动轴线(24)平行于所述框架弹簧对称轴线(40)取向和/或位于所述框架弹簧对称轴线(40)上。8.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述保持装置(10)、所述驱动框架(12)、所述至少一个框架弹簧(14)、所述第一反射镜弹簧(22a)、所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·穆霍，H·格鲁特杰克，J·弗兰茨，Z·莱什詹，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：