【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于微机械间接热电式功率传感器的相位检测器,其特征在于:包括衬底(1)、设置在衬底(1)上的功合器和MEMS间接式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器和频率计,在衬底(1)上定义一条对称轴线;所述功合器形成沿对称轴线对称的结构,包括地线(2)、共面波导传输线(3)、两段不对称共面带线(4)、隔离电阻(5)、两组固支梁(12)和锚区(13);所述MEMS间接式微波功率传感器包括两组终端电阻(6)、金属热偶臂(7)、半导体热偶臂(8)、金属连接线(9)和两个直流输出块(10);所述地线(2)形成沿对称轴线对称的结构,包括对称位于对称轴线两侧且不相接触的两段侧边地线、对称位于对称轴线上的一段公共地线;所述共面波导传输线(3)形成沿对称轴线对称的结构,包括位于对称轴线两侧且不相连接的两段输入共面波导传输线、对称位于对称轴线上的一段输出共面波导传输线;所述两段输入共面波导传输线分别与两段不对称共面带线(4)输入端相连接;所述两段不对称共面带线(4)输入端通过隔离电阻(5)隔离,所述两段不对称共面带线(4)输出端相连接后接入输出共面波导传输线;所述两段不对称共面带线(4)和隔离电阻(5)形成沿 ...
【技术特征摘要】
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