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本发明公开了一种基于微机械间接热电式功率传感器的相位检测器及制法，该相位检测器包括以砷化镓为材料的衬底、设置在衬底上的功合器和MEMS间接式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器和频率计，两个输入信号加在功合器的两个输入端，经间接热电式功率传...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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