一种基于微机械间接热电式功率传感器的倍频器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于微机械间接热电式功率传感器的倍频器，该倍频器包括以砷化镓（GaAs）为材料的衬底、设置在衬底上的功合器和MEMS间接式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器和除法器，压控振荡器的输出信号通过一个除法器再反馈到功合器的一个输入端，参考信号加在功合器的另一个输入端，经间接热电式功率传感器检测，得到与参考信号和压控振荡器输出信号的相位差成比例的电压，该电压加到压控振荡器的输入端，使压控振荡器的本振信号频率随着所输入的电压的变化而变化；该实用新型专利技术结构简单、体积更小、精度更高，具有很好的实用性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于微机械间接热电式功率传感器的倍频器，其特征在于：包括衬底（1）、设置在衬底（1）上的功合器和MEMS间接式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器和除法器，在衬底（1）上定义一条对称轴线；所述功合器形成沿对称轴线对称的结构，包括地线（2）、共面波导传输线（3）、两段不对称共面带线（4）、隔离电阻（5）、两组固支梁（12）和锚区（13）；所述MEMS间接式微波功率传感器包括两组终端电阻（6）、金属热偶臂（7）、半导体热偶臂（8）、金属连接线（9）和两个直流输出块（10）；所述地线（2）形成沿对称轴线对称的结构，包括对称位于对称轴线两侧且不相接触的两段侧边地线、对称位于对称轴线上的一段公共地线...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，杨国，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：