【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基于微机械直接热电式功率传感器的锁相环,其特征在于:包括衬底(1)、设置在衬底(1)上的地线(2)、MEMS功合器、共面波导传输线(3)、两组MEMS固支梁结构和MEMS直接热电式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器,在衬底(1)上定义一条对称轴线;所述地线(2)形成沿对称轴线对称的结构,包括对称位于对称轴线两侧且不相接触的两段侧边地线、以及对称位于对称轴线上的一段公共地线;所述MEMS功合器形成沿对称轴线对称的结构,包括对称位于对称轴线两侧的两段不对称共面带线(4)和隔离电阻(5),所述两段不对称共面带线(4)的输入端通过隔离电阻(5)隔离、输出端相连接;所述共面波导传输线(3)形成沿对称轴线对称的结构,包括位于对称轴线两侧且不相连接的两段输入共面波导传输线、以及对称位于对称轴线上的一段输出共面波导传输线;所述两段输入共面波导传输线分别与两段不对称共面带线(4)的输入端相连接,分别作为参考信号输入端口和反馈信号输入端口;所述两段不对称共面带线(4)的输出端相连接后接入输出共面波导传输线,作为信号输出端口;所述两组MEMS固支梁结构分别设置在对称轴线的两侧且相对对称轴线对称,所述MEM ...
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。