【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种操作微机电系统对多个信号进行滤波和混合的方法,该微机电系统包括谐振器(10、110)、激励电极(20、120)以及第一检测电极(30、130),所述方法包括: 将第一交流电压信号施加于激励电极(20、120),其中产生频率带宽大于且包括谐振器机械频率响应的谐振带宽的激励力,以及其中产生谐振器位移,所述位移由机械频率响应滤波并且改变第一检测电极(30、130)电特性的数值; 将第二交流电压信号施加于第一检测电极(30、130),其中第二电压信号与所述变化值混合以产生第一交流电流信号;以及 检测第一检测电极(30、130)处的第一交流电流信号。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:皮特·杰拉德·斯普内肯,
申请(专利权)人:NXP股份有限公司,
类型:发明
国别省市:NL
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